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技術專文

連續循環下一致性指數
圖8、相同研磨液下添加純水的一致性指數關係 參考文獻
廠內使用的研磨液多數以固定比例 [1] SemiChem，APM操作手冊。
原液加超純水混合後循環供應，但 [2] 英特格，CR288濃度儀器介紹，2016。
13.8 [3] 台灣布魯克生命科學，近紅外線光譜儀
定義最佳循環時間一直是廠務端混 介紹，2018。
12.8 A 研磨液 酸難題。過去我們僅能將循環時間 [4] 工業技術研究院，工業技術與資訊月
A 研磨液添加純水 刊，2014-2。
11.8 警示值 劃分幾個等分，依序手動取樣量測 [5] 邱東蔚，Analyze Oxidizer inside Slurry
樣本，但藉由近紅外線分析優勢我 by BRUKER NIR，2011-6-28。
10.8 [6] 張寶貴、韓長秀、畢成良，儀器分析，
們可以即時連續量測，透過一致性 2011。
9.8
指數找出最佳操作參數。 圖9為固 [7] 施正雄，儀器分析原理與應用，2012。
Conformity Index (CI) 7.8 致性指數結果，可以看出循環初期 [9] 國家實驗研究院，儀科中心簡訊，2007-
[8] 蘇青森，儀器學，2002。
8.8
定比例化學品進行連續循環觀察一
10。
由於原液加超純水混合比例未達均
6.8
勻，內部組成不一，造成每筆近紅
5.8
外線光譜不盡相同，因此一致性指
4.8
數跳動幅度很大。隨著循環時間越
3.8 久，化學品混合比例逐漸均勻，圖
2.8 中循環至100秒的時候，一致性指
1.8 數會趨近於某一特定數值，可以視
為最佳循環時間點。
0.8
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 32 34 36 38 40 42
樣本編號

結論
圖9、固定比例化學品連續循環下一致性指數

41.3 本研究找出近紅外線光譜分析手法
量測研磨液中雙氧水濃度，解決現
Sum 1: Sum over: CI > Limit (/ N total)
36.3 行線上研磨液滴定儀維護查修複雜
固定比例化學品
問題，並透過非接觸式分析回收研
31.3 磨液，省下龐大的研磨液分析成
本，達成省錢效益亦可提升公司企
26.3 業形象。
Conformity Index (CI) 21.3 數找出各研磨液差異性，解決過去
本研究以近紅外線光譜的一致性指

我們遇到線上晶圓缺陷時，傳統品
16.3
一雙新的眼睛避免瞎子摸象。
11.3 質監測項目無法辨識問題，提供了
洞察先機即可掌握大局，半導體製
6.3 程不斷推進，原料供應品質角色只
會越來越吃重，除了提升源頭端原
1.3 料品質管理外，廠務端持續不斷精
進分析能力，為生產線上做好最後
-3.7 一道把關工作，當發現製程偏移問
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 120 140 160 180 200 220
題立即通知應變，降低產線衝擊時
連續量測秒數
間，贏得公司客戶信任度。

藍色點為A研磨液逐一添加超純水 一筆數值變化幅度大(差異值達3)， 致近紅外線光譜呈現不同，間接反
得到的一致性指數，明顯發現該數 證明即便相同研磨液逐漸添加超純 應在一致性指數上，表示近紅外線
光譜可以擔任研磨液品質把關者。
值分布在10到13區間範圍，且每 水後，A研磨液的成分比例改變導

40 300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2018 41