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Tech
Notes
技術專文

Applying

Leveling

Agent

in W-CuSO 4

Plating System

for Performance

Enhancement

平整劑應用於

液中求銅系統產能提升

前言

綠色工廠一直以來都是台積電對於企業社會責任中非常重視的一環，綠
色工廠除了意指廠房建築及內部機器設施的設計、運作與維護、資源與
物料採購、使用外廢棄物處理與水汙染也是非常重要的指標，零汙染零
排放不僅有助整體環境生態的永續發展，也為公司帶來實質的環保成本
效益，所以一直是廠務於綠色環保終極目標。
竹科十二廠六期廢硫酸處理系統 攝影 / 洪湘寧
銅製程於晶圓製造方面是不可或缺的部分，衍伸而出的就是含銅廢液的
產生，台積竹科十二吋廠2017年廢硫酸銅總產量約為1625噸，每年約
Abstract 生，進而造成橋接短路發生，廢液電解中最常出現之情形就是橋接短路，且需大量人力、人時來進行 後續電解還原銅金屬之回收收益，還原銅金屬年回收收益為691萬元，
廢液電解中常因部分干擾物質造成電鍍層外表結構不一定規則狀，在共同的電流下，端子離陽極距離
需花費3百萬元委託廠商處理，除須支付清運費外，更無法與廠商分享
較近的部位稱為局部高電流區，局部高電流區電解形成速度較快，在惡性循環下造成銅花的情形發
使用電解還原設備直接於廠內電解還原處理硫酸銅並產出高純度銅管，
異常處理，系統在異常處理的過程中被迫處於停擺狀態，所以連續電鍍的首要電解條件便是解決橋接
以節省清運費及有效將廢棄物資源化，同步達成廢棄物減量之目標。
短路造成之系統停擺，本文即為探討利用平整劑來降低大量銅花的產生，進而提升廢液電解的產能。

關鍵詞／橋接短路、平整劑、電解
於嘗試創新，把工作當作生活的一部分，感
的挑戰也越來高，在高水回收率所衍生的另一個
Keywords/ Solder short, Leveling agent, Electrolysis 宏 曾 升 正面樂觀看待工作與生活的一切，工作上勇 世 民 王 S.M. Wang 氣候變遷和公司對社會承諾及自我要求，水回收
謝在工作上給予指導的所有人，讓我可以學 問題就是放流水量減少使得水中汙染物濃度提高
文│曾宏升 王世民│竹科廠務三部│ 習更多的知識並運用在工作上。 ，因此對於新的處理技術的引進也勢在必行。
Randy Tseng

42 300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2018 43