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Tech
Notes
技術專文
The Practice of
Waste IPA
Reduction
by VEX Waste Heat Recycle
以回收有機排氣系統廢熱進行
廠內異丙醇減量之實務應用
在半導體製程中常使用於晶圓乾燥、清潔之 IPA 化學品，隨著製程技術之推進以及晶圓線寬之微縮，導致
IPA 廢液在質與量均大幅改變：廢液量大幅增加但含水率過高，導致已無回收價值，僅能以焚化方式處理，
造成處理費用增加。本研究是評估回收有機排氣 VOC 處理設備 (VEX) 所排放之廢熱 (200℃ )，來進行
IPA 廢液回收。其經模廠測試驗證後，確實可將廢棄物減積 80% 以上，並可產出純度達 85% 以上之有價
IPA 成品，不僅提升廠內廢棄物再生比例外，且兼具環境保護與經濟效益等雙重效益。此一以廢 ( 廢熱氣 )
治廢 ( 廢棄物 ) 之技術實為循環經濟之最佳應用案例。
關鍵詞/ 廢熱回收、異丙醇、蒸餾
Keywords/ Waste heat recycle, IPA(Isopropyl Alcohol), Distillation
文│吳世霖│南科廠務五部│
前言 N10+N7 已增大為N16 的4.8倍)，且含水率卻過
高(從原先小於20%突增至大於80%)，目前已不
具回收價值，僅能以焚化方式處理，導致處理費
隨著製程技術之推進，製程機台使用異丙醇
用突增且造成廢溶劑清運之衝擊。在運轉風險以
(Isopropyl Alcohol, IPA)之應用日漸廣泛，原先
及運轉成本之考量，實有必要評估於廠內設置處
使用氣態IPA(g)方式進行晶圓乾燥，但由於晶
圓線徑之微縮，而需改採液態IPA(l)加上DI 水方 理設備。本研究依據最節能且不會造成二次污染
式進行乾燥，導致IPA與水相混合之情況發生， (廢棄物問題轉變為廢水或空污問題) 之評估原則
造成廢液量大幅增加( N10為N16之2.4倍，而 下，尋找一最佳之廠內處理方法。
堅持持續改善、創新之信念，期許自己對
世 霖 系統改善、節能減廢能能貢獻一己之力。
興趣：運動、閱讀。
吳 Shih Lin Wu
66 300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2018 67
異丙醇 (IPA) 處理模廠設備 照片提供 / 日商瑞環 (Refine Japan)
