Page 19 - Vol.32
P. 19
Tech
Notes
技術專文
The Discussion of Arsenic
Compounds Measurement in
Exhaust of
Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，
去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，
部分砷化氫轉化為固態砷化物，檢測方法有公告煙道檢測與作業環境監測兩種，本文探討不同檢測方法的
適用性。測量結果發現，現有吸附式尾氣處理設備，在長期使用及同時處理 2 台製程機台尾氣的條件下，
出口端可偵測出微量的固態砷化物。因此，若須有效監控尾氣排放含砷物質，除了既有尾氣處理設備的砷
化氫監測器外，定期以作業環境監測方法，測量尾氣處理設備及主風管內的固態砷化物，輔助定義尾氣處
理設備的使用年限，提升含砷物質的整體處理效能。
關鍵詞/ 固態砷化物、砷化氫、吸附式尾氣處理設施（現址式空氣處理設備）
Keywords/ As 2 O 3 , AsH 3 , Local scrubber
2
1
2
1
文│顏雅琳 陳怡兆 │ 六廠工安環保部 六廠廠務部│
前言 現砷化物的致癌性風險已略高過百萬分之一(10-
6)，故針對砷化來源與排放量的探討與求證，為
本研究之動機與目的。
南部科學工業園區為台灣高科技產業生產的重
鎮，隨著產業的拓展，伴隨而來的空氣污染物也 離子植入製程使用砷化氫(AsH 3 )，在高溫下容易
隨之增加，為兼顧產業發展與環境保護的管控， 裂解，與空氣接觸產生氧化反應(氧化砷, As 2 O 3 )
南部科學工業園區於環境影響評估計畫上，承諾 (如反應式A與反應式B)，固態砷化物 (氧化砷,
每三年進行全園區的健康風險評估。 As 2 O 3 )為IARC(國際癌症研究中心，International
2016年南部科學園區以各廠家的空污許可證核定 Agency for Research on Cancer)評定為一級致癌
的排放量，進行全園區的健康風險初步估算，發 性的化學品。
高雄醫學大學職業安全衛生研究所畢業。 成功大學資訊工程所畢業。進入完全不熟悉的
雅 琳 怡 兆
進入台積擔任過環保與衛生管理之業務，面對 廢氣處理與機械空調專業，新的學習、新的
不同的業務有不同的挑戰，正面迎擊，過程中 陳 I-Chao Chen 挑戰、其中有苦也有樂，感謝主管與同仁不
會有不同的收穫，迎接而來的結果定是甜美的。 藏私指導，讓我做好準備面對每天的新課題。
顏 Ya-lin Yen
18 FACILITY JOURNAL DECEMBER 2018 19
中科十五廠五期吸附式廢氣處理設備(Cleansorb) 攝影/洪湘寧
