Page 40 - Vol.32

Tech
Notes
技術專文

Safety Design for the System

to Remove Hydrogen Peroxide

from Waste

Sulfuric Acid

廢硫酸去除雙氧水系統

安全防護提升

本文以危害與可操作性分析 (HAZOP) 及收集 13 個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H 2 SO 4 ) 去除雙氧水 (H 2 O 2 )
回收系統風險，針對各風險之可能原因及防護措施進行探討。本系統主要風險包括：(1) 桶槽內失控反應造
成槽體破裂，導致廢硫酸及氯氣外洩；(2) 管中加藥失控導致反應管線爆裂，造成廢硫酸及氯氣外洩；(3)
現址式洗滌塔 (Local Scrubber) 失效造成氯氣外洩。除此之外，亦比較各廠的安全防護設計，包括反應溫度、
HCl 加藥方式、桶槽安全防護、Local Scrubber 安全防護等，據以彙整提出廢硫酸去除雙氧水系統之硬體安
全設計及操作安全防護，做為未來新系統規劃參考。
關鍵詞/ 廢硫酸、雙氧水、危害與可操作性分析、尾氣處理設備
Keywords/ Waste Sulfuric Acid, Hydrogen Peroxide, Hazard and Operability Study, Local Scrubber

1
3
1
4
1
2
2
3
3
4
文│呂欣 劉明翰 唐祺夏 劉柏青 蕭千城 吳厚萱 │ 十四B廠工安衛生部 十八廠 南科廠務五部 中科廠務五部│
前言 度降低至小於0.005%，使廢硫酸得以運用在廠內
廢水處理系統使用，尤其應用於氨氮廢液結合使
用，將原有氨氮廢水處理成可用資源(硫酸銨)，有
硫酸主要用於光阻去除後之矽晶圓清洗，清洗後 效降低廢硫酸委外處理量，並減少工業級硫酸外
產生約 45%~70%的廢硫酸，過去廢硫酸的處理 購量。
方式為委由廢硫酸處理廠商清運，或提供給廠務
公司廢硫酸去除H 2 O 2 系統主要是藉由加入HCl作
廢水系統加藥使用，但由於廢硫酸含有雙氧水，
為催化劑，去除廢硫酸中的雙氧水，反應生成氯
對於廢水處理系統常用的逆滲透(RO)薄膜易造成
氣、氧氣及水。由於氯氣的高危害性(腐蝕性1級
損壞。因此過去僅少量廢硫酸使用於廠內鹼排洗
及吸入性毒性2級)化學品，系統設計不良或操作
滌塔(AEX)中和，其餘均委託廠商回收再利用。
不當，可能造成管路、桶槽腐蝕，甚至造成氯氣
民國104年公司導入廢硫酸再生系統，將H 2 O 2 濃 外洩。

欣 明 翰 劉 M.H. Liu 祺 夏 唐 Chi-Hsia Tang 柏 青 劉 P.C Liu 千 城 蕭 C.C. Hsiao 厚
萱
呂 Hsin Lu
吳 Hou-Hsuan Wu

40 FACILITY JOURNAL DECEMBER 2018 41
中科十五廠六期廢硫酸再生系統 攝影/洪湘寧