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 表 9、單一工程特性創新法則出現頻率分級表  表 12、TRIZ 應用於半導體研發廠空污問題改善對策彙整表


 工程參數  等級         編號    研發廠空污問題點             創新法則         類比發想改善對策
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 (19次以上)  (16~18次)  (13~15次)  (10~12次)  (7~9次)  (4~6次)  (1~3次)  1  研發廠區製程機台內空氣  TRIZ#3局部品質  設置現址式處理系統Salix Local Scrubber去除混氣中的酸及氨氣
                        污染物混合排放問題
                                             TRIZ#35參數改變  變更沸石濃縮轉輪運轉參數(T1/T3/脫附風量)
 24  資訊的喪失  10        35  34.26.22.  28.32.19.  02.27.33.13.15.
 31.01.  16.23.21.29.08.
 04.06.05.                                   TRIZ#39惰性環境  NA
                                             TRIZ#40複合材料  NA

 表 10、空污問題一創新法則類比發想對策  2  無法迅速掌握研發廠區製        TRIZ#10預先作用  針對空污定檢項目建置監測計畫，以Online即時檢測為主Offline檢測為輔，
                        程空污排放物種及排放量                       事先量測並改善，避免定檢結果變差
                        變化
 創新法則編號  創新法則內容  類比發想改善對策
                  3     影響社會觀感的「白煙」          TRIZ#2提取/分離  針對白煙物質高濃度區域，增加現址式空污處理設備或提升既有空污處理
                                                          效率
 No.10  預先作用(Preliminary Action/ Prior Action/Do It Advance)  針對空污定檢項目建置監測計畫，以Online即時檢測為主，
 Offline檢測為輔，事先量測並改善，避免定檢結果變差                TRIZ#21急衝    NA

                                             TRIZ#22轉害為益  NA

 表 11、TRIZ 解決研發廠空污排放問題創新法則彙整表                TRIZ#35參數改變  針對現址式空污處理設備IPI-310B+ Local Scrubber、桶槽區Wet Local Scrubber
                                                          進行關鍵參數最佳化
 編號  研發廠空污問題點  問題描述  待改善工程參數  須避免工程參數  創新法則
                  4     新製程造成現有空氣污染          TRIZ#10預先作用  建置IC On-line監測系統，配合Off-line取樣，量測H 3 PO 4 與其他有害空氣污染
                        管制污染物排放的增加                        物，即時監控煙囪排放，避免空污定檢結果異常
                                                          未來新製程評估Local Scrubber時，需加入量測副產物，提早預測改善
 1  研發廠區製程機台  先進製程機台於腔體內混合使用  26.物質數量  31.有害副作用  TRIZ#3局部品質
 內空氣污染物混合  酸、氨、有機化學物進入排氣系統  (技術矛盾)
 排放問題  中          5     新法規規範有害空氣污染          TRIZ#3局部品質   在既有現址式處理設備去除酸、鹼污染物後，串聯專門針對HAPs重金屬吸
 TRIZ#35參數改變            物HAPs-重金屬鈷非零檢出                    附之吸附式Local Scrubber去除重金屬鈷
                        問題
 TRIZ#39惰性環境
 TRIZ#40複合材料
              表 13、鹽酸、氨氣、異丙醇 pKa 比較表
 2  無法迅速掌握研發  依照法規規範量測空污排放頻率及  24.資訊的喪失  使用單一工程特性創  TRIZ#10預先作用
 廠區製程空污排放  量測項目不足，無法即時取得足夠  新法則方法
 物種及排放量變化  排放資訊   Pollutant                      pKa(望小)                         HA(M/atm) (望大)


                  HCl (Acid)                     -8.00                           694.44
 3  影響社會觀感的  製程產生矽微粒或桶槽酸氣與氨形  31.有害副作用  22.能源的浪費  TRIZ#2提取/分離
 「白煙」  成銨鹽等，造成煙囪可目視白煙  (技術矛盾)  NH 3  (Ammonia)   9.33                            57.20
 TRIZ#21急衝
                  IPA (VOCs)                     17.10                           66.67
 TRIZ#22轉害為益

 TRIZ#35參數改變
 4  新製程造成現有空  定檢發現煙囪H 3 PO 4 排放上升，  26.物質數量  使用單一工程特性創  TRIZ#10預先作用
 氣污染管制污染物  來源為新製程使用之PH 3 經Local   新法則方法  結果與分析  問題及對策分析                        常數(Henry constant; HA)可看出，
 排放的增加  Scrubber處理後生成副產物H 3 PO 4                                               濕式洗滌塔其去除的容易度(容易
 5  新法規規範有害空  機台使用有害空氣污染物(HAPs)為  26.物質數量  使用單一工程特性創  TRIZ#3局部品質  問題一、研發廠製程機台內空氣污  →困難)為HCl  (酸)>NH 3 (鹼)>IPA
 氣污染物HAPs-重金  原料，例如重金屬鈷，而既有空污  新法則方法  創新法則及改善對策  染物混合排放問題                      (有機)   表13，因此，在製程混和
 屬鈷非零檢出問題  處理設備並無去除重金屬之設計
                                                                               酸、鹼、有機物的排氣中，相較以
              依據前章所述TRIZ流程及分析，針               問題：半導體酸槽機台其製程使用
                                                                               往排入SEX並經洗滌塔處理，將含
              對5項半導體研發廠面臨的空污問                 酸、鹼及有機氣體(異丙醇)於同一
                                                                               IPA之有機排氣排入VEX，經VOC
              題，找出12種創新法則解法，並                 腔體，造成機台端排氣產生混合排
                                                                               濃縮廢石轉輪處理後排放是較佳的
 等級A為創新法則第10項「事先  Online即時檢測為主，Offline檢測  題二，找到TRIZ創新法則及其對應  依據其創新法則解法分析其改善對  放問題，無法依傳統分流方式解決  空污處理方式，而利用TRIZ#3「局
 動作」  (Preliminary  Action/Prior   為輔，事先量測並改善，避免空污  之改善方案，對於其餘三項空污問  策，總計提出8項改善對策內容，  空污排放問題。  部品質」創新法則於製程機台出口
 Action/Do It Advance)，以此創新  定檢結果變差為改善方針 表10。  題比照相同分析方式，找出其創新  彙整如 表12所示，各項改善對策詳  對策：根據氣體在氣液介面的傳  處，優先設置現址式處理系統Salix
              述如下。
 法則進行類比發想，制訂針對現行  依據上述方法，已分別將研發廠面  法則及其對應之改善方案，茲彙整  輸速率理論，從酸解離常數(Acid          Local  Scrubber處理混氣中的酸及
 空污定檢項目建置監測計畫，並以  臨的五項空污問題中之問題一及問  於 表11 。    dissociation  constant;  pKa)及亨利  NH 3 ，避免VEX處理系統沸石濃縮



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