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Tech
Notes
技術專文
Operation Strategy
of Gas and
Chemical
Supply
Systems
in Response to the New
RD Progress Migrate to
Mass Production Fab
因應研發先進製程
轉量產之氣體與
Control/Constrain
化學供應系統運轉策略
Input Activity Output
a-0
Mechanism/Resources
Sub-Activity Sub-Activity 前言
(I) a-1 (I) a-2
研發轉量產流程概述
南科十八廠一期桶裝化學品供應系統 (DHL)
IDEF0 流程概念 攝影、繪圖 / 洪湘寧 當今半導體製造產業競爭激烈，除了在研究發展上需取得技術上的領先之
本研究使用目前業界廣泛應用於製造流程分析的 IDEF0 建模方式，在半導體研發製程轉大量生產過 外，如何迅速地將最先進的研發技術轉化為大量生產，即時滿足客戶需
Abstract 驗及結合各廠區相關專業同仁的意見，將廠務端的氣體與化學供應系統，在 IEDF0 建模所列出各個 曾 始設計、發包、建廠、裝機到正式量產約16至18個月，在這段與時間賽
求，是全球半導體業界中取得領先勝利地位的重要因素。一座晶圓廠從開
渡期間，將氣體與化學供應系統運轉方式，分為三個主要階段及五個次要程序。根據最新廠區運轉經
跑的期間，廠務系統的建置為整個專案的第一棒，當中又以對製程良率敏
階段中，將可能發生的運轉風險及應對方法加以彙整。最後總結出五大運轉問題以及十一項相應對的
運轉策略與建議，供後續新建廠設計及運轉單位之參考。
UniSA, Master, Major: Advanced Technology Management.
關鍵詞／功能建模、氣體化學供應系統、完整複製、量產
毅
恒
Keywords/ ICAM Definition Languages (IDEF), Gas and Chemical System, Copy Exactly, Mass Production
經歷 : 三廠籌備處 (EE), FAC12 DCT, FAC12A Operation, Hookup, FACEP, FAC12B Operation. 6 US
patents certificate. 現任中科廠務五部部經理。
文│曾恒毅│中科廠務五部│ 做困難的事，就像是進入隧道的過程，黑暗只是開始，光明就在盡頭 !! 與大家共勉之。
Heng-Yi Tseng
56 FACILITY JOURNAL DECEMBER 2018 57
