Page 107 - Vol.35
P. 107

New
 Vision
 新象新知



 連續監控  現場採樣  人力巡檢          AMHS AGV  地震預警
                            Server  server                                        通知相關單位
 MA 酸性物質  MB 酸性物質                                                                 進行異常排除
 Acid  Base  項目
                                                                                       否
 HF  H 2SO 4  NH 3  圖示
 HCI  HNO 3  HMP                                                產線量測        紀錄       數據    是  資料
 HBr  HMDS
                                     tsmc
 H 3PO 4                                                     (TOC/CxF/溫濕度)  資料       正常       建檔
                                    intranet
 Not Classi ed   AMHS parts    廠務AMC                                                    通知相關單位
 H 2O 2  / O 3  勝  AGV          量測AGV                                                   進行異常排除
 IPA Acetone
                                                                                             否
 資料產出時間  短  長  短                                                                                是
                                                    AMC       定點採樣       實驗室     資料        分析
 MC 凝結性物質  MD 摻加物質                                O ine量測    (NH 3/TS/B/P)  分析   建檔        正常        END
 Condensables  Dopants  人力需求  無  有  有
 DOP  DBP  DEP  B 2H 5  BF 3  AsH 3  測量方式  定點  隨機  隨機
 Siloxanes BHT  TCEP  TEP  TPP                                               異常原因
 維護成本  高  無  無   圖3、AGV派車系統無線通訊架構                                             排除
                                                                                 否
 圖1、常見連續監控儀器可測量  表1、目前AMC監控機制優缺點比較                              進料檢驗           數據   是   貼認證標籤
 的微污染物質          精準任務。由近期文獻也可以                                   (TOC)         正常
                    [4]
                 得知 隨著工業4.0的提倡，業
                 界已逐漸將其導入工業生產、                    圖4、目前AMC Offline量測的方式及流程
 處於運轉狀態的半導體廠內的
 In-line   Off-line   倉庫運輸貨物。目前晶圓廠在
 人力負荷較大，故若以能以自
 動巡檢取代人力將使AMC的  量測項目  應用AGV部分在於產線上的
 監控更臻於完美。        自動物料搬運系統(Automatic
 AMC SCADA: NH 3 、TS、HCL、TOC(IPA、Acetone、  Routine巡檢量測及採樣(NH 3 、TS、TOC)
 CxF...等)  異常位置：NH 3 、TS、TOC(IPA、  Material  Handling  System,            AGV自動巡檢系統建立
 常見人力巡檢儀器  CHAD- GC/MS: VOC、IPA、Acetone、CxF...等  Acetone、CxF...等)  AMHS)，使AGV搭載料件箱
 DCS: 溫濕度  異常位置：Particle、溫濕度
                 進行自動派車送貨功能，以及
 在人力巡檢最常見的為應                                       AGV     巡檢地圖         巡檢推車         資料傳輸         中控系統
                            [5]
 用光離子化檢驗法  [2] (Photo   表2、無塵室內溫溼度與微污染物於In-line/Off-line 的規劃  自動巡檢功能 以取代繁複人  建置項目
 Ionization Detector，以下簡稱  力作業。AGV導航使用同步
                                                           派車模式         儀器搭載         無線技術         網路架構
 PID)，利用大多數氣體皆有其  測量離子電流  定位與地圖構建(Simultaneous
 100.0ppm  並產生訊號
 獨特的離子化能量(Ionization   localization and mapping，以下
 轉換成濃度讀數
                           [6]
 Potential，以下簡稱IP)，單位  簡稱SLAM) 在運動過程中通            障礙克服     避障會車         電池容量         資料處理         遠端監控
 為Electron  Volts  (eV)，當外  過重複觀測到的地圖特徵（比
 界提供大於氣體IP能量時，該  如，牆角、柱子等）定位自身
 氣體便會離子化(原理如  圖2  待測氣體  氣體  帶電價離子  氣體離子重新  位置和姿態，從而達到同時定   消防連動                      行動顯示
 所示)。PID優點為輕便、迅速  進入儀器  離子化  進入sensor電極  結合成氣體分子  位和地圖構建的目的。
 並流出儀器
 反應，可即時判斷環境是否有  因而產生電流                                     巡檢模式         巡檢物種         行動APP      遠端監控派車
                 為達成智慧工廠建構的標準，                    目標成果
 揮發性有機物(Volatile Organic   氣體通過                              建立           建立          顯示          系統建立
 UV燈泡            無線通訊是不可或缺的一環，
 Compounds，以下簡稱VOCs)
 微汙染物，缺點是對VOCs無  AGV搭載SLAM技術可事先規                  圖5、AGV自動巡檢系統建構項目及預期達成目標成果
 圖2、光離子化檢驗法(PID)偵測原理
 法有效分辨物種，需透過更精   畫定時進行自動巡檢，同時在
 密的儀器來判斷。        無塵室外架構中控系統，透過
 總和以上常用儀器，若能結合在AGV自動巡檢推車上，便能立即強  公司內部網路便可對AGV進行  計畫方法
 另外還有碳氟化合物 (Perfluo-
 化無塵室內微汙染物的監控。   任務派車動作，操作人員僅需
 rocarbons，PFCs)等微汙染
                 在辦公室或值班室內監控AGV
 物，其分子式為CxF，該物種                                       務AMC  Offline測量方式主要分為產線量測，以人力方式至生
                 車輛位置及任務中的狀態回                    廠
 來源為冷媒，於蝕刻後段製程  AGV自動搬運車的功能應用                         產區內進行AMC、定點採樣及進料檢驗，如 圖4所示，該如何
                 報。 圖3為AGV無訊通訊架構
 區附屬機台內使用，廠務端採                                   以AGV導入取代人力呢？AGV需有自動巡檢功能，並能搭載巡檢推
 隨著自動化的高度需求，AGV的開發已行之有年，導入自動搬運車
 用儀器PICARRO進行偵測，  示意圖，在後面章節將另外說                  車，推車上需有足夠空間放置監測儀器及電池，能持續供電，儀器
 採用光腔衰盪光譜 [3] (Cavity   (AGV) 採用自動或人工方式裝載貨物，按既定路線自動行駛至指定  明。目前台積14廠AMHS與廠
 地點，再以自動或人工方式裝卸貨物的工業車輛，不僅能解決日益勞                  測量的數值須能透過無線傳輸回到廠務資料庫，並能顯示於行動裝
 Ringdown Spectroscopy)，可  務均導入AGV系統，使用相同
 將採樣氣體可迅速反應當下測  力缺乏的問題，更能提高生產系統的效率與彈性。近年來電腦硬體技  中控派車作業，優點是同廠區  置上，整個AGV巡檢系統均能遠端監控車況、路徑、任務類別等功
 值為其優點，因體積大及過重  術、自動控制技術、感測器技術以及軟體開發環境的不斷發展，導航  不同的AGV在會車時的能有比  能，於火警或天然災害時能自動停機並能不影響逃生動線，完整建構
 不方便人員移動為問題所在。  準確性大大提升，如今AGV可透過磁條、視覺導航或雷射導航進行  較好的閃避邏輯規劃。  流程如 圖5所示。



 106                                                                                FACILITY JOURNAL          SEPTEMBER   2019  107
   102   103   104   105   106   107   108   109   110   111   112