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新象新知

47 通知相關單位
進行異常排除
DTF-H bay濕度變化
否
46
產線量測 是
數據正常
(TOC/CxF/溫濕度)
45
AVG自動量測
IOT自動回傳
44 通知相關單位
進行異常排除
43 否
AMC 定點採樣 是
42 O ine量測 (NH 3/TS/B/P) 實驗室分析 資料建檔 分析正常 END

41 異常原因排除

否
40
是
進料檢驗(TOC) 數據正常 貼認證標籤
39
2019/2/1 2019/2/8 2019/2/15 2019/2/22 2019/3/1 2019/3/8 2019/3/15 2019/3/22 2019/3/29 2019/4/5 2019/4/12 2019/4/19 2019/4/26
圖23、導入AGV自動回傳功能，可降低產線量測繁複工作
圖20、廠務資料庫顯示單一位置隨時間變化數值

AS-IS 需1~2hr TO-BE 即時
1 2 3 4 1 2

CR AMC 異常狀態 廠務資料 CR App立即
環境異常 監控告警 確認 整理 環境異常 通知/查詢

OR OR + OR
設備狀態異常 設備電話通知 o ine量測 設備狀態異常

Trend Trend

Data Data
圖21、下載T-Phone上App“tsmcINE”並打開使用 圖22、T-phone上顯示不同區域的各物種濃度及溫溼
度，以trend chart顯示

圖24、巡檢推車自動化資料產出AMC量測資料時間縮短
人力/AGV 工時統計 工作項目 產線量測 定點採樣 進料檢驗

使用儀器 溫濕度計 TOC PID CxF picarro API NH 3 API TS Particle IC Canister Foup TOC PID
(蝕刻區) counter (B&P) AGV自動巡檢與人力巡檢比較分析 池容量及空間下，亦無法增加
測量種類。舉例來說，Picarro
人力巡檢 周(Hr) 160 15 15 10 20 20 10 10 10 10 40 由前述章節所提及，未導入AGV廠務推車之前，AMC Offline測量方
為測量CxF 的儀器，但因體積
式主要分為產線量測，以人力方式至生產區內進行AMC、定點採樣
大、高重量以及耗電量高，便
AGV巡檢 周(Hr) 120 0 0 0 15 15 15 20 20 20 15
及進料檢驗為主，平均一周需160人力工時。導入AGV廠務自動化巡
壓縮巡檢推車上能裝載其他儀
檢後，在產線量測部分的溫溼度、TOC及CxF測量可取代人力巡檢，
表5、AGV與人力巡檢項目工時預估比較 器的數量及縮短巡檢推車的工
圖23所示。省去資料紀錄及後製預估可減少人力周工時約40Hr，每
作時間，造成車體無法再輕量
月可減少一名人力配置，如 表5所示。
化，若是行經無塵室內較為狹
們可藉由下載App在手機上進 庫連接TSMC網域，將資料傳送到App server，同仁僅需在T-phone連 如前所述，AGV可取代人力巡檢負荷，並在短時間內產出測量資 窄區域，結果便是AGV無法進
行即時性的事務處理，經由 接Wifi，下載使用App "tsmcINE"，如 圖21所示，便可顯示AGV於各 料，另外由於AGV可在生產區內進行24小時巡檢，故資料更新速度 入形成巡檢漏洞，故輕量化的
Local SCADA可透過廠務資料 區巡檢的即時數值，如 圖22所示，並可選擇以trend chart顯示。 亦較快速，如 圖24所示。但因巡檢推車內空間有限，在無法增加電 AGV及測量儀器將是下一代改

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