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 新象新知





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 IMP Bench  DIF3  LIT  BEOL ETCH                                   vol.36
 ≤ 8.571
 ≤ 12.857
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 ≤ 30.000        EDITORIAL                                         氣化系統供應品質提昇
 > 30.000
 FEOL  DIF2  FEOL  FEOL TFE  BEOL TFE  PVD  B/S  BEOL
 Bench  ETCH  Bench  BOARD                                         與水系統循環經濟資源

                                                                   再生技術實務
                 發行人 Publisher
                 莊子壽 Arthur Chuang   tschuang@tsmc.com
 Foup
 DIF1  DIF Bench  WAT  CMP  CU CMP  ECP  總編輯 Editor in Chief
 Clean
                 范恩祖 E.T. Fan      etfan@tsmc.com
                                                                    工廠每年都會有因物料品質變異，造成製程
                 主編 Managing Advisory
                                                                    良率穩定性受影響的案例發生。在先進廠務
 圖25、IEDA2數據分析無塵室內TOC濃度分布  王若杰 Rouh-Jier Wang   rjwang@tsmc.com
                                                                    系統的設計趨勢與重點，是如何透過廠務供
                 美術主編 Art Director
                 洪湘寧 ViGi Hung     vigi_hung@tsmc.com               應系統，提升原物料供應品質與及早發現原
 善的重點。因無塵室內Wifi傳  數據，無塵室環境條件的控管能夠更即時。但因大量的數據傳輸，需  編輯顧問 Editorial Advisory   物料品質的變異，以杜絕製程良率不穩定的
 輸有訊號死角問題，故當初以  要更有效率的程式協助處理，未來可將AGV的資料結合搭配IEDA2的  薛仁猷 J.Y. Hsueh   / 陳鏘澤 Tony Chen      變因。下期廠務季刊主要介紹氣化系統如何
 3G SMS模式進行數據傳輸，  功能，使Fab無塵室內的AMC濃度，溫溼度等數據以視覺化呈現，如   陳勇龍 YungLong Chen  / 江世雄 S.H. Chiang
                 洪永迪  Eddy Hung                                     達到原物料供應品質提昇的目標。另外先進
 但若是大量3G SMS傳輸將衍  圖25所示。使數據更能顯而易見達成真正的智能廠務。人工智慧，已

 生費用的問題，舉例來說，生  不在是電影小說內出現的情節，身為全球電子與半導體業的重鎮，  編輯委員 Editorial Board Members   製程使用新原物料，產生新的廢棄物，關於
 產區內因機台異常影響環境  且在工業 4.0 的趨勢下持續導入智慧製造，以面對市場激烈競爭。  李靜怡  Marie Lee   /  劉超奇  Chao-Chi Liu  這方面發展出來的新處理技術，也會刊載發
 爭。              李明利  M.L. Lee    /  歐人華 J.H. Ou
 AMC，此時巡檢推車便可到                                                      表與大家分享努力的成果與未來發展方向。
                 黃昭文 Jau Wen Huang  /  張丁興  Deacon Chang
 達指定位置進行環境AMC資
                 楊水定  S.D. Yang   /  連上舜 Tony Lien
 料的連續傳輸，便會衍生資料   林韋志  W.C. Lin    /  楊水定  S.D. Yang
 傳輸費用，故目前已著手針對   于   淳  Chwen Yu   /  鄭昭平  Tim Cheng                                         ――主編/曾恒毅
 這部分進行4G傳輸改善。故   錢立行  Li-Hsing Chien   /  許紘愷  Hung-Kai Hsu
                 蔡昀叡  Yun-Jui Tsai   /  林素芬  Sophie Lin
 未來針對車體、儀器、中控模
 式及訊號傳輸方面仍有精進空   發行 Publishing
 間。              廠務處
                 Facility Division
 參考文獻            台灣積體電路製造股份有限公司
                 新竹科學工業園區園區二路166號
 [1]   朱良堃、連上順、陳昭賢，綠色半導體晶圓廠創新型精確環境設計與解
 結論  決無塵室污染物之移除技術，2016新竹科學工業園區廠務技術研討會  T. +886-3-563-6688
 [2]   光離子化檢測儀，維基百科，資料來源http://0rz.tw/ 32SaL  F. +886-3-566-2051                                    Co
 [3]   光腔衰盪光譜，維基百科，資料來源http://0rz.tw/mW a5I
                 出刊日期 中華民國108年9月
 廠務巡檢AGV導入工廠後確  [4]   林則孟，晶圓廠自動化物料搬運系統之動態車輛配置，行政院國家科學
 委員會補助專題研究計畫     版權所有翻印必究 All Rights Reserved
 實能取代繁複的人力作業。所
 [5]   余宗賢、張書豪，談巡檢機器人於廠務運轉之應用，TSMC 300mm
 有的數據透過無線傳輸更能  FABS廠務季刊第29期，頁78-89，2018
 有效的在系統上追蹤各區域  [6]   即時定位與地圖構建，維基百科，資料來源https://goo.gl/ppnxXK (即時
 定位與地圖構建)
 的變化趨勢，加上數據行動
 化，T-phone及電腦均可查詢



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