Page 114 - Vol.35

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新象新知

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≤ 4.286
IMP Bench DIF3 LIT BEOL ETCH vol.36
≤ 8.571
≤ 12.857
≤ 17.143
≤ 21.429
≤ 25.714
≤ 30.000 EDITORIAL 氣化系統供應品質提昇
> 30.000
FEOL DIF2 FEOL FEOL TFE BEOL TFE PVD B/S BEOL
Bench ETCH Bench BOARD 與水系統循環經濟資源

再生技術實務
發行人 Publisher
莊子壽 Arthur Chuang tschuang@tsmc.com
Foup
DIF1 DIF Bench WAT CMP CU CMP ECP 總編輯 Editor in Chief
Clean
范恩祖 E.T. Fan etfan@tsmc.com
工廠每年都會有因物料品質變異，造成製程
主編 Managing Advisory
良率穩定性受影響的案例發生。在先進廠務
圖25、IEDA2數據分析無塵室內TOC濃度分布 王若杰 Rouh-Jier Wang rjwang@tsmc.com
系統的設計趨勢與重點，是如何透過廠務供
美術主編 Art Director
洪湘寧 ViGi Hung vigi_hung@tsmc.com 應系統，提升原物料供應品質與及早發現原
善的重點。因無塵室內Wifi傳 數據，無塵室環境條件的控管能夠更即時。但因大量的數據傳輸，需 編輯顧問 Editorial Advisory 物料品質的變異，以杜絕製程良率不穩定的
輸有訊號死角問題，故當初以 要更有效率的程式協助處理，未來可將AGV的資料結合搭配IEDA2的 薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳鏘澤 Tony Chen 變因。下期廠務季刊主要介紹氣化系統如何
3G SMS模式進行數據傳輸， 功能，使Fab無塵室內的AMC濃度，溫溼度等數據以視覺化呈現，如 陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang
洪永迪 Eddy Hung 達到原物料供應品質提昇的目標。另外先進
但若是大量3G SMS傳輸將衍 圖25所示。使數據更能顯而易見達成真正的智能廠務。人工智慧，已

生費用的問題，舉例來說，生 不在是電影小說內出現的情節，身為全球電子與半導體業的重鎮， 編輯委員 Editorial Board Members 製程使用新原物料，產生新的廢棄物，關於
產區內因機台異常影響環境 且在工業 4.0 的趨勢下持續導入智慧製造，以面對市場激烈競爭。 李靜怡 Marie Lee / 劉超奇 Chao-Chi Liu 這方面發展出來的新處理技術，也會刊載發
爭。 李明利 M.L. Lee / 歐人華 J.H. Ou
AMC，此時巡檢推車便可到 表與大家分享努力的成果與未來發展方向。
黃昭文 Jau Wen Huang / 張丁興 Deacon Chang
達指定位置進行環境AMC資
楊水定 S.D. Yang / 連上舜 Tony Lien
料的連續傳輸，便會衍生資料 林韋志 W.C. Lin / 楊水定 S.D. Yang
傳輸費用，故目前已著手針對 于 淳 Chwen Yu / 鄭昭平 Tim Cheng ――主編/曾恒毅
這部分進行4G傳輸改善。故 錢立行 Li-Hsing Chien / 許紘愷 Hung-Kai Hsu
蔡昀叡 Yun-Jui Tsai / 林素芬 Sophie Lin
未來針對車體、儀器、中控模
式及訊號傳輸方面仍有精進空 發行 Publishing
間。 廠務處
Facility Division
參考文獻 台灣積體電路製造股份有限公司
新竹科學工業園區園區二路166號
[1] 朱良堃、連上順、陳昭賢，綠色半導體晶圓廠創新型精確環境設計與解
結論 決無塵室污染物之移除技術，2016新竹科學工業園區廠務技術研討會 T. +886-3-563-6688
[2] 光離子化檢測儀，維基百科，資料來源http://0rz.tw/ 32SaL F. +886-3-566-2051 Co
[3] 光腔衰盪光譜，維基百科，資料來源http://0rz.tw/mW a5I
出刊日期 中華民國108年9月
廠務巡檢AGV導入工廠後確 [4] 林則孟，晶圓廠自動化物料搬運系統之動態車輛配置，行政院國家科學
委員會補助專題研究計畫 版權所有翻印必究 All Rights Reserved
實能取代繁複的人力作業。所
[5] 余宗賢、張書豪，談巡檢機器人於廠務運轉之應用，TSMC 300mm
有的數據透過無線傳輸更能 FABS廠務季刊第29期，頁78-89，2018
有效的在系統上追蹤各區域 [6] 即時定位與地圖構建，維基百科，資料來源https://goo.gl/ppnxXK (即時
定位與地圖構建)
的變化趨勢，加上數據行動
化，T-phone及電腦均可查詢

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