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Tech
Notes
技術專文

能的將各式污染物減量以利於降低 立清華大學原子科學研究所
表 6、桶槽分類與污染物減量 [14] Chen, H.M, Chen, T.M., “Emission
對環境的衝擊。
Characteristics of Volatile Organic
Compounds from Semiconductor
項目 IPA減量 NH 3 減量 總酸減量 目前廠區持續針對煙囪加裝多種污 Manufacturing,” Journal of Th e Air &
染物即時監控系統，以利隨時了解 Waste Management Association, 53(8),
pp.1029-1036 (2003).
WWT 改善成效與運轉最佳化狀態確認， [15] Tsai, J.H., Huang, Y.S., Shieh, Z.X.,
Soruce IPA IPA IPA +NH 3 +NH 3 +Acid 且可於較短時間內確認污染物來 Chiang, H.L., “Concentration Chara-
+NH 3 +NH 3 +Acid +Acid
+Acid cteristics of VOCs and Acids/Bases in
源，並針對污染物提出有效處理方 the Gas phase and Water-soluble Ions
案，但目前的即時監控系統並無法 in the Particle Phase at an Electrical
前端 Industry Park During Construction
處理對策 針對全部污染物進行分析，需探尋 and Mass Production”, Journal of
Environmental Science and Health
新的儀器與方案使污染物來源確認
pH3 pH10 pH3 pH10 pH10 Part A-Toxic/ =Hazardous Substances
Wet SCR Wet SCR Wet SCR 更加精準。尾氣處理是一個持續改 & Environmental Engineering, 46(5),
善循序漸進的過程，現在廠區還是 pp.540-551 (2011)
終端 致力於改善煙道中的非甲烷碳氫化
處理對策
合物、硫酸等污染物，持續改善其
污染物來源，以及未來製程變更下
所需的對應處理方法。相信在運轉
VOC Rotor+TO AEX Central Scrubber SEX Central Scrubber
空污防制設備的同時，不僅需要顧
及設備穩定且要堅守於改善煙囪污
染物排放達環境背景值的目標，此
兩項的結合才得以跟上綠色製造的
– 於酸槽機台後方安裝現址式洗滌 排中的排放量減量此區域的污染物 由現址處理設備安裝並控制加藥
腳步。
塔(DAS Salix)，過程中僅使用水 處理亦刻不容緩。 以達成洗滌液pH約控制於10，
霧配合拉西環進行水洗，此階段 末端再排放至有機氣體排放進行
問題：原桶槽區域之尾氣種類僅單
的功能為去除混排中的酸鹼廢 處理。
純分類為酸排與鹼排，但藉由簡易
氣，避免因酸鹼造成沸石轉輪與 參考文獻
的尾氣分類至兩種排氣已無法滿足 – 桶槽含有氨氣與酸，分別安裝兩
風管腐蝕等風險，移除酸鹼後再 [1] 蔡春慶「新竹科學園區空氣污染物量測
目前的空污排放要求，由於桶槽內 台現址處理設備加藥控制洗滌液 及處理效率提昇研究計畫」期末報告，
使用沸石轉輪與燃燒爐結合的設 新竹科學園區管理局，2002年
的廢水收集相當複雜，若處理不佳 為pH3與pH10，最終由含氨濕
備去除混排中的有機污染物。 [2] Chein, H.M, Chen, T.M., “Emission
恐造成煙道酸鹼混排產生鹽類，進 式洗滌塔進行最終處理。 Characteristics of Volatile Organic
– 對於機台使用酸與NH 3 化學品情 Compounds from Semiconductor
而導至白煙形成，與污染物排放問 Manufacturing”, Journal of The Air &
形下，與上述處理方法類似，先 – 桶槽單純含有酸性物質，為避免 Waste Management Association, 53(8),
題，為減少空污排放目前將桶槽分
以現址式洗滌塔去除酸性污染物 白煙形成與達成總酸減量的目 pp.1029-1036 (2003).
類為以下幾種 表6 。 [3] Cooper, C.D.; Alley, F.C., Air Pollution
後排放進含氨氣體排放(AEX)， 的，由現址處理設備加藥控制洗 Control: A Design Approach, 2nd ed.,
此方法利用中央式現址處理設備 – 桶槽含有異丙醇、酸與氨氣 滌液於pH10再排入酸性濕式洗 Chapter 7 &13, Waveland Press, Inc.,
Taiwan, 1994
加入廢硫酸以去除尾氣中的氨 – 桶槽含有異丙醇與酸 滌塔以符合小風量高濃度現址處 [4] 白曛綾「新竹科學園區半導體及光電製
氣，符合混排後分段處理的目 理的原則。 造業空氣污染防制設施績效提升輔導」
– 桶槽含有氨氣與酸 期末報告，新竹科學園區管理局，2001
的。 年
– 桶槽單純含有酸性物質 [5] 蘭舜煒「某半導體廠週界異味來源及控
– 廠區內有著為數不多僅使用酸 制研究」，交通大學，2002年
性化學品的酸槽機台，此改善 對策： [6] 黃宗銘「某TFT-LCD廠濕蝕刻機台酸性
製程排氣的白煙去除研究」，交通大
方式為安裝現址式洗滌塔(DAS 結論 學，2006年
– 先經由兩台尾氣處理設備並配有
Salix)，排入酸性氣體排放系統， [7] 蘭舜煒「某半導體廠週界異味來源及控
酸、鹼加藥系統，第一台設備的 制研究」，交通大學，2002年
以減少中央式濕式洗滌塔的負 [8] 游建華「高科技產業沸石轉輪操作條件
洗滌液pH控制於3，以移除尾氣
載，可達到高濃度污染物現址處 過往空氣中的污染物常被忽略，直 之研究」，「區域與環境資源永續發展
中的氨氣，接續由第二台現址處 研討會」，2011年。
理的目的，避免因稀釋後造成濃 到近年因PM2.5等懸浮微粒污染物 [9] 高科技產業揮發性廢氣處理技術及操作
理設備進行再處理，其加藥控制
度降低，去除效率不佳的問題。 逐漸被各界重視後才加緊對空氣污 處理成本，2010年
點定為pH10，此舉可獲得兩項 [10] 林育旨「沸石轉輪吸附材改良與結合冷
染物的重視。無機酸、鹼、異丙醇 凝器效能提升研究」，交通大學，2005
優勢，包含去除尾氣中的酸性物 年
利用尾氣處理設備改善廢水場中 於空污防制設備處理過後可有效改
「異丙醇、氨、總酸」排放問題 質與避免管路腐蝕，最終末端尾 善空污問題，但空污改善仍與上游 [11] 黃俊超「高科技產業無機酸鹼廢氣組
成與填充式濕式洗滌塔控制效率之研
氣再經由VOC防制設備進行處 究」，交通大學，2003年
緣起：桶槽區污染物以異丙醇、硫 機台所使用的化學品種類與製程方
理，此方式與製程機台相同，可 [12] 張豐堂「沸石濃縮轉輪焚化技術常見問
酸、氨氣為主，其中桶槽區酸排中 式息息相關，創新與進步一直是半 題與解決方法」，清華大學
有效去除尾氣中的IPA濃度。
的異丙醇佔某廠總量的16.6%，而 導體產業追求的目標，當然在產業 [13] 羅俊光、蔡培癸，2000，“新竹科學工
業園區環境空氣中有害物質監測分析”，
鹼排中則佔59.8%，因而對於酸鹼 – 桶槽含有異丙醇與酸的尾氣，藉 精進的同時，廠務同仁們也竭盡所 新竹科學工業園區管理局委辦計畫，國
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