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Tech
Notes
技術專文

Aerosol

Reduction

Using Depth-filtration

Technology in

Exhaust System

廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術

半導體製程產生之酸鹼廢氣經化學反應為鹽類固體，分散在空氣中成為懸浮微粒，造成排氣煙囪產生煙霧
現象，而引起健康及環保問題。本研究運用高度密合纖維材料構成之深度淨化裝置與現址式洗滌塔設備串
聯，針對酸槽之機台尾氣進行氣膠微粒的深度淨化處理，將微粒補集於濾材介質中，而不僅只攔截於表層，
能在阻塞前承載更多微粒，搭配灑水裝置不斷再生，結果於 PM2.5 達 61.5% 去除效率。並利用微孔均勻沉
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降衝擊器 (MOUDI) 取樣分析總懸浮微粒 328568.32μg/m 中，PM2.5 佔 98.3%，其中又以 PM0.4 ～ 1.0 佔
達 66.7% 居冠，其成分以離子層析法分析，主要組成為硫酸銨鹽，佔總重量 83.6%，並達 7 成的去除效率。

關鍵詞 / 氣膠微粒、深度過濾、細微粒 (PM2.5)
Keywords/ Aerosol particles, depth-filtration, fine particle (Particulate Matter, PM2.5)
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文│王鄧安 陳博政 │ 中科廠務三部 南科廠務六部│
前言 計畫的目標，以人體健康危害為主軸，推動細懸
浮微粒及有害空氣污染物管制策略，呼應「空氣
污染防制法」第一條之規定：防制空氣污染，維
氣膠泛指大氣中粒徑介於0.01～10微米之間的
護國民健康、生活環境，提高生活品質。
固體或液體，在工業及科技蓬勃發展之際，各種
台灣科學園區半導體廠量測煙道排放之懸浮微
空氣污染物隨之而生。近年來，粒狀污染物尤為
矚目，台灣積體電路公司除了追求企業成長與突 粒，在靠近酸槽區域之酸性氣體排放煙囪中測
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破，亦堅守綠色承諾，持續落實各項永續措施， 得總懸浮微粒達815.37μg/m ，為酸鹼氣體排放
減少廢氣中的氣膠排放必將成為重要目標。各縣 管道中的懸浮微粒主要排放源，其中粒徑介於
市環保局亦紛紛將粒狀污染物列為空氣污染防制 0.1~1.0μm者佔總質量78%，為降低懸浮微粒之

國立清華大學生醫工程與環境科學所畢業。 國立成功大學機械所畢業。
鄧 安 經歷：2016 年以研發替代役身分進入台積電。持 博 政 2007 年加入台積電，歷經新工蓋廠、裝機、機械
分析化學之背景投身 AAS 系統，與主管及各同仁 陳 P .C. Chen 運轉。空污環保是機械顯學，需要不斷創新、思
跨領域合作與學習，共同致力於空汙零排放。 考與學習，讓空氣中排放酸鹼與有機物為零。
王 Deng-An Wang

24 FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2019 25
中科十五廠五期揮發性有機物處理設備 攝影、影像處理/洪湘寧