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 表 3、濕式靜電集塵器對於不同粒徑污染物處理效率  圖7、濕式靜電集塵器不同電壓對於處理  圖10、濕式旋風集塵器處理流程  圖12、NMCI採樣示意圖
 效率特性

 Diameter(μm)  <0.1  0.14  0.21  0.33  0.52  0.82
 100                          Motor                                SEX
 PRE (%) 80
 60
 in-average conc.(#/cm ) 3  6.40E+06  4.67E+06  2.38E+06  6.01E+05  1.49E+05  4.12E+04  40  Sampling Port
                                                                                   (Outlet)
 20               outlet
 out-average conc.(#/cm ) 3  2.20E+05  4.20E+03  1.68E+03  5.12E+02  3.84E+02  1.52E+02  0
 10 12 14 16 18 20 22 24                                             Sampling       Sampling Tube
                                                                                      Sampling Port
 efficiency(%)  96.6%  99.9%  99.9%  99.9%  99.7%  99.6%  wEP (kv)  Zone 5  Filter Tower   (Inlet)
 資料來源：交通大學蔡春進教授合作
      檢測數據，2018                       Zone 4
                                                                 Exhaust
                   Water in           Zone 3
 Diameter(μm)  1.3  2.04  3.21  5.18  8.1  Total
                                      Zone 2                         Pump
 圖9、濕式旋風集塵器安裝架構
 in-average conc.(#/cm ) 3  1.74E+04  1.01E+04  5.86E+03  4.88E+03  4.88E+03  1.43E+07  Water out  Zone 1
                                                                     Exhaust
 out-average conc.(#/cm ) 3  8.67E+01  2.88E+01  1.45E+01  1.25E+01  5.63E+00  2.27E+05  8” SEX  Local Scrubber
                                                                          Pump
 4” SEX                          inlet
 efficiency(%)  99.5%  99.7%  99.8%  99.7%  99.9%  98.4%
 資料來源：工研院合作檢測數據，2013

              圖11、NMCI (NCTU Micro-orifice cascade impactor)採樣儀器 [6]
 Waste
 gas out
 圖8、各種粒狀污染物防治設備集塵效率比較 [5]  Safety :
 漏水檢知帶  Water  Water
 in
 in
 Interlock
 LSC進水
 100  Water out
 PCSAA6  Waste
 90  gas in
 (HTF-C16)
 80
 70
 Removal efficiency, %  50  Tank
 60


 40
 30  簡易旋風集塵器
 高效率旋風集塵器
 20  靜電集塵器  原理
 濕式洗滌器
 10  文氏洗滌器  其基本原理是當微粒隨著氣體進入
 袋濾室  濕式旋風集塵器內時被迫旋轉，大
 0              毛刷的離心力高速甩出，使其形                採樣設備主要為NM CI   (NCT U            設計流量30L/min的操作條件下，
 0.1  1.0  10.0  100.0  微粒受離心力與重力的影響，撞擊  成多層高分子密布之水膜，進行  Micro-orifice  cascade  impactor)採  (Model  10R-A)可將懸浮微粒分徑
 Particle diameter, microns  集塵器內壁，且螺旋向下運動被收
                第一段粉塵之抓取，並經由水流                樣儀器，如 圖11所示，NMCI  是一             為18、10、5.6、2.5、1.8、1.0、
 集，此原理主要是用來處理大粒徑
                重力排出                          台串聯式的多階慣性衝擊器(Model               0.56、0.32、0.18、0.10及＜
 的微粒，微粒向上會經過灑水區，
              – 第三段：增加兩段高壓水噴霧，                10R-A)，其將微粒分徑的原理是                0.10µm (after filter)等10個粒徑區
 此區利用氣流中微粒與液體接觸
 濕式旋風集塵器  靜電集塵器、旋風集塵器，如  圖8  將粉塵與水霧結合並進行沖刷    利用不同粒徑微粒隨氣流加速後有                  間。
 後，液滴或液膜擴散附著廢氣中之                              不同的慣性力，大的微粒因慣性力
 雖然上述介紹之濕式靜電集塵器看  所示。  粒子，或增濕於粒子，使粒子凝結  – 第四段：將粉塵與水霧結合經毛                       採樣氣體入口端管徑為4mm、內
                                              大，所以會直接衝擊在較上層的衝                  徑為2.5mm，NMCI進口採樣流量
 似是種大小粒徑粒狀污染物都可處  為了解決大小粒徑粒狀污染物都可  變大，藉重力達到分離的目的。  刷的離心力高速甩出，使其形成  擊板上，小微粒則會隨著氣流轉向
 理的防治設備，但使用靜電集塵技  多層高分子密布之水膜，進行第                                               固定為30L/min，由於設備內的微
 處理與安全兼備的防治設備，發展  處理流程  二段粉塵之抓取               而進到下一階衝擊器。為了能收集                  粒濃度未知，故採樣時間至現場才
 術時，若前方特氣未處理完全，有                              較小顆的微粒，必須逐漸將氣流加
 出一套將傳統旋風集塵器、濕式集  濕式旋風集塵器如 圖10所示，其主                                            進行評估，評估方法為進行一次測
 發生火災之風險，故一直未被台積  – 第五段：通過高速旋轉刷過濾除            速，提高小微粒的慣性力，讓小微                  試採樣，在經過不同採樣時間之後
 塵器結合在一起的防制設備，取名  要分為五大處理流程：  霧，並用離心力進行水氣分離
 電公司導入於工廠。不同的粒狀污                              粒能衝擊到收集板上，所以MOUDI                將NMCI各階層打開，觀察衝擊板
 為濕式旋風集塵器，目前安裝於中
 染物防治設備各有優缺點，各種粒  – 第一段：粉塵通過高速旋轉刷進            採樣器中各階衝擊器的氣流速度隨                  上附著之微粒有無過多或過少的情
 狀污染物防治設備的效率由高而低  科廠區LSC出口與風管之間，如 圖  行過濾，將大粉塵去除  採樣儀器及方法  著階數增加而提高，上層衝擊器噴      形，採樣示意圖如 圖12 ，現場採樣
 依序為袋式集塵器、濕式洗滌器、  9所示。  – 第二段：由上層注入之水體，經  NMCI(微孔多階衝擊器)   嘴的數目較少，孔徑也較大。在       照片如 圖13 。



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