Page 49 - Vol.35
P. 49

Tech
 Notes
 技術專文


 圖13、現場採樣照片  圖14、中科廠區濕式旋風集塵器LSC出口懸浮微粒粒徑分佈  表 4、中科廠區濕式旋風集塵器效率驗證


 3.6%  0.4%       日期         水量(LPM)     離心轉速(rpm)    PM2.5        <1µm
 1.3%  1.7%
 1.2%  2.6%
 µm               8/29       5           800          75%          61%
 1.6%  6.0%
 <0.1
 11.5%  0.1       9/17       10          800          76%          73%
 0.18
 0.32             9/17       10          1500         80%          74%
 0.56
                  10/8       24          1500         79%          73%
 1
 1.8
                  10/8       24          1650         87%          80%
 2.5
 5.6
                  資料來源：交通大學蔡春進教授合作檢測數據，2018
 10
 18
              圖17、水量與轉速對不同粒徑的去除率影響
 39.5%  30.5%
                   90.0%

                   85.0%
 結果與分析  圖15、不同水量對去除效率影響  80.0%


 100.0%           去除效率 (%)  75.0%
 中科廠區與交大蔡春進教授團隊    70.0%
 90.0%
 採樣此台裝有Clean  Technology濕                                    5LPM 800rpm
 80.0%             65.0%                                     10LPM 800rpm
 式旋風集塵器的LSC出口懸浮微粒  70.0%                                     10LPM 1500rpm
                                                             24LPM 1500rpm
 發現，懸浮微粒粒徑約70%落在  60.0%  60.0%                               24LPM 1650rpm
 0.56~1.0µm，如 圖14 。  Powder Removal Rate  50.0%  55.0%  <0.1  0.1  0.18  0.32  0.56  1  1.8  2.5  5.6  10  18
 使用同轉速800rpm來觀察不同灑  40.0%                   um: Particle Size
 水水量對去除效率影響發現，當增  30.0%  資料來源：交通大學蔡春進教授合作檢測數據，2018
 加水量時對小粒徑懸浮微粒的影響  20.0%  水量5L
 水量10L
 比大粒徑懸浮微粒還大，整體去除  10.0%
 效率也優於小水量，其原理為增加  0.0%
 18  10  5.6  2.5  1.8  1  0.56  0.32  0.18  0.1  <0.1
 小微粒與水滴接觸機率增加攔截，
 Motor Rotation Speed: 800rpm  結論             參考文獻
 如 圖15 。  資料來源：交通大學蔡春進教授合作檢測數據，2018
                                              [1]   行政院環境保護署網站－空氣品質監
 使用同灑水水量來觀察不同轉速對                                  測網，網址：https://taqm.epa.gov.tw/
                                                  taqm/tw/b0201.aspx，上網日期：2019
 去除效率影響發現，當增加轉速時  本文研究利用現有LSC出口安裝濕                月1月4號。
 對大粒徑懸浮微粒的影響比小粒徑  圖16、不同轉速對去除效率影響  式旋風集塵器來處理細懸浮微粒  [2]   黃郁揚、黃麗煌，戰勝PM2.5，頁103、
                                                  106，台北市中正區杭州南路一段63號9
 懸浮微粒還大，整體去除效率也優  問題，除可改善PM2.5空氣污染問               樓，幸福綠光股份有限公司，2019。
 於小轉速，其原理為增加轉速提高  100.0%  題，也可解決LSC出口後端風管阻    [3]   鄭宗岳、林鴻祥，空氣汙染防制理論及
                                                  設計(第五版)，頁278-279，新北市中和
 離心力及慣性，如 圖16 。  90.0%  塞問題，本文研究現址式LSC與粒          區中山路二段362號9樓，新文京開發出
 80.0%                                            版股份有限公司，2018。
 綜合不同撒水水量、轉速對去除效  70.0%  狀物防治設備結合的型式也是未來      [4]   吳怡君，排氣分流改造應用於粒狀物
 Powder Removal Rate  50.0%
 率影響發現，大灑水水量與高轉  60.0%  的發展趨勢，既可解決目前半導體           減量，台積電300mm FABS Facility
                                                  Journal廠務季刊，第26期，第27頁，
 速，整體去除效率較傑出，如  表4  廠房空間利用問題，也替未來新廠               2017。
 與 圖17 。  40.0%  區設計時多了一個LSC建置的思考             [5]   Environmental engineering, P. Aarne
                                                  Vesilind, J. Jeffrey Pierce and Ruth F.
              方向，濕式旋風集塵器在高轉速與
 30.0%
                                                  pp. 415, 1997。
              高灑水水量下，目前去除懸浮微粒                     Weiner, Chapter20 Air Pollution Control,
 20.0%  1500rpm                               [6]   PM2.5 及奈米微粒監測與控制
 1650rpm      的效率可高達87%，相信在未來的                    技術聯盟，網址： http://pm25.
 10.0%
              發展研究下，可創造出更高的去除                     nctu.edu.tw/intro /super_pages.
 0.0%                                             php?ID=intro3&Sn=1，上網日期：
 18  10  5.6  2.5  1.8  1  0.56  0.32  0.18  0.1  <0.1  效率，達到預期的空品標準。  2019月3月1號。
 um: Particle Size
 資料來源：交通大學蔡春進教授合作檢測數據，2018



 48                                                                                 FACILITY JOURNAL          SEPTEMBER   2019  49
   44   45   46   47   48   49   50   51   52   53   54