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技術專文

圖13、現場採樣照片 圖14、中科廠區濕式旋風集塵器LSC出口懸浮微粒粒徑分佈 表 4、中科廠區濕式旋風集塵器效率驗證

3.6% 0.4% 日期 水量(LPM) 離心轉速(rpm) PM2.5 <1µm
1.3% 1.7%
1.2% 2.6%
µm 8/29 5 800 75% 61%
1.6% 6.0%
<0.1
11.5% 0.1 9/17 10 800 76% 73%
0.18
0.32 9/17 10 1500 80% 74%
0.56
10/8 24 1500 79% 73%
1
1.8
10/8 24 1650 87% 80%
2.5
5.6
資料來源：交通大學蔡春進教授合作檢測數據，2018
10
18
圖17、水量與轉速對不同粒徑的去除率影響
39.5% 30.5%
90.0%

85.0%
結果與分析 圖15、不同水量對去除效率影響 80.0%

100.0% 去除效率 (%) 75.0%
中科廠區與交大蔡春進教授團隊 70.0%
90.0%
採樣此台裝有Clean Technology濕 5LPM 800rpm
80.0% 65.0% 10LPM 800rpm
式旋風集塵器的LSC出口懸浮微粒 70.0% 10LPM 1500rpm
24LPM 1500rpm
發現，懸浮微粒粒徑約70%落在 60.0% 60.0% 24LPM 1650rpm
0.56~1.0µm，如 圖14 。 Powder Removal Rate 50.0% 55.0% <0.1 0.1 0.18 0.32 0.56 1 1.8 2.5 5.6 10 18
使用同轉速800rpm來觀察不同灑 40.0% um: Particle Size
水水量對去除效率影響發現，當增 30.0% 資料來源：交通大學蔡春進教授合作檢測數據，2018
加水量時對小粒徑懸浮微粒的影響 20.0% 水量5L
水量10L
比大粒徑懸浮微粒還大，整體去除 10.0%
效率也優於小水量，其原理為增加 0.0%
18 10 5.6 2.5 1.8 1 0.56 0.32 0.18 0.1 <0.1
小微粒與水滴接觸機率增加攔截，
Motor Rotation Speed: 800rpm 結論 參考文獻
如 圖15 。 資料來源：交通大學蔡春進教授合作檢測數據，2018
[1] 行政院環境保護署網站－空氣品質監
使用同灑水水量來觀察不同轉速對 測網，網址：https://taqm.epa.gov.tw/
taqm/tw/b0201.aspx，上網日期：2019
去除效率影響發現，當增加轉速時 本文研究利用現有LSC出口安裝濕 月1月4號。
對大粒徑懸浮微粒的影響比小粒徑 圖16、不同轉速對去除效率影響 式旋風集塵器來處理細懸浮微粒 [2] 黃郁揚、黃麗煌，戰勝PM2.5，頁103、
106，台北市中正區杭州南路一段63號9
懸浮微粒還大，整體去除效率也優 問題，除可改善PM2.5空氣污染問 樓，幸福綠光股份有限公司，2019。
於小轉速，其原理為增加轉速提高 100.0% 題，也可解決LSC出口後端風管阻 [3] 鄭宗岳、林鴻祥，空氣汙染防制理論及
設計(第五版)，頁278-279，新北市中和
離心力及慣性，如 圖16 。 90.0% 塞問題，本文研究現址式LSC與粒 區中山路二段362號9樓，新文京開發出
80.0% 版股份有限公司，2018。
綜合不同撒水水量、轉速對去除效 70.0% 狀物防治設備結合的型式也是未來 [4] 吳怡君，排氣分流改造應用於粒狀物
Powder Removal Rate 50.0%
率影響發現，大灑水水量與高轉 60.0% 的發展趨勢，既可解決目前半導體 減量，台積電300mm FABS Facility
Journal廠務季刊，第26期，第27頁，
速，整體去除效率較傑出，如 表4 廠房空間利用問題，也替未來新廠 2017。
與 圖17 。 40.0% 區設計時多了一個LSC建置的思考 [5] Environmental engineering, P. Aarne
Vesilind, J. Jeffrey Pierce and Ruth F.
方向，濕式旋風集塵器在高轉速與
30.0%
pp. 415, 1997。
高灑水水量下，目前去除懸浮微粒 Weiner, Chapter20 Air Pollution Control,
20.0% 1500rpm [6] PM2.5 及奈米微粒監測與控制
1650rpm 的效率可高達87%，相信在未來的 技術聯盟，網址： http://pm25.
10.0%
發展研究下，可創造出更高的去除 nctu.edu.tw/intro /super_pages.
0.0% php?ID=intro3&Sn=1，上網日期：
18 10 5.6 2.5 1.8 1 0.56 0.32 0.18 0.1 <0.1 效率，達到預期的空品標準。 2019月3月1號。
um: Particle Size
資料來源：交通大學蔡春進教授合作檢測數據，2018

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