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Tech
Notes
技術專文
TSMC / FACILITY DIVISION PUBLISHED
VOL.39
廠務季刊
URL.http://nfjournal/
南京外氣AMC的危機與探究
The crisis and exploration of air AMC in Nanjing
文│屈悅 許焱欽│南京廠務一部│
關鍵詞 / Keywords 摘要
AMC / AMC 半導體工藝的精進，使得潔淨室對空氣的品質要求越來越高，小顆粒的懸浮
有機溶劑 / Organic solvents 分子污染物對製品的影響越來越大。南京台積電身處工業園區，AMC問題存在
有效预防 / effective prevention 內憂外患的危機。因南京廠區為新建廠，廠區內部目前仍有大量的有機溶劑施工
作業，以及有半導體制程本身存在的各種化學品使用；廠區週邊則有各類生產公
司及新建工地的污染排放，污染物通過風力的影響帶入台積電周圍環境。以上種
種情況導致南京台積電的AMC有異於臺灣各廠。本次的研究物件為AMC成分中
與臺灣相較異常的部分，通過研究討論其表現和通過一系列方法舉措，找出其為
何表現不同的跟因，以及通過嘗試採取不同的方式，來實驗可有效預防的方式。
1. 前言
南京台積電要做到AMC減量化，需要先考察南京與臺灣的 以上均為南京廠遇到的AMC危機，本次研究
AMC區別，以及南京廠附近環境與臺灣廠的區別。作為長江三 目的是為了降低其對半導體生產的危害；但同時，
角洲地區工業繁榮的南京，受到典型的溫帶季風性氣候影響，污 也是在尋求在AMC的污染防治上，通過其對這種
染源較多且易蓄積沉降；而臺灣是亞熱帶季風性氣候，且四周沿 差異性成分的重點研究，是否可以尋找到處理其他
海，空氣品質指數明顯好于南京及周邊區域。調查發現，南京的 異常成分的思路，以及對於未來南京甚至大陸其他
外氣狀況(PM2.5及AMC)約為臺灣的200%~250%，如 圖1所示 地區建廠提供案例，防止該問題成為未來大陸新建
。 廠的通病。
南京台積電處在新工業園區，附近有大量的生產工廠，如橡
膠廠、醫藥廠及食品等工業廠，且目前仍有十幾處地方新建工地 2. 文獻探討
自建廠後運轉至今，AMC比對臺灣廠來看，其AMC有兩種成分
針對外氣MeCl2和TS的研究，我們首先要知道
存在問題 : ①MeCl2 baseline偏高，且經常異常升高，如 圖2；
其物理和化學特性，瞭解它們的應用範圍，才有機
②TS長期處於低值，但偶爾會出現濾網被擊穿情況，如 圖3。
會尋找對的角度和方法。
屈悅 Martin Qu 許焱欽 Y.Q. Xu
2016年，上海東華大學畢業工學學士。2017年至今，台積電(南京)。 2013年，南華大學。2014-2019年4月，漢唐集成。
專業 : 環境工程與科學 2019年至今，台積電(南京)。
負責過系統 : 2017-2018年，Cleanroom equipment。2019-2020年， 專業 : 安全工程。負責過系統 : 2014-2019年，國內多專案無塵室
HVAC chiller/cooling tower/boiler。2020年至今，AMC。 施工建廠。2019年-至今，AMC。
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