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PM2.5   Tsmc 處理能力 100% (HEPA)  NO2    Tsmc 處理能力(MAX 200ppb)   SO2   Tsmc 處理能力 (MAX 200ppb)
                             對策:(濾網更換頻率增加2倍)
                                                           對策:(水洗補水量增加)
                                                                                         對策:(水洗+AMC filter)
                             (mg/m3)        (mg/m3)         (ppbv)        (ppbv)         (ppbv)         (ppbv)
                                        227%                          199%                          225%









                         Avg:30ppm      Avg:70ppm      Avg:12ppb     Avg:25ppb        Avg:3ppb       Avg:8ppb

                                                  圖1、南京外氣狀況(PM2.5及AMC)較台灣差





















                                               圖2、外氣MeCl2 baseline偏高,且經常會有瞬間高值






















                           Baseline

















                                          圖3、外氣TS長期處于低值,但偶爾會有瞬間高值,導致濾網被擊穿



 101  102                                                                                 FACILITY JOURNAL          09  2020  103         104                                                                                                                                                                                                                                105                        106












































































































 111  112                                                                                                      113                        114                                                                                                                                                                                                                                115













































































































 121  122                                                                                                    123                              124                                                                                                                                                                                                                          125                              126












































































































 131  132                                                                                                    133                              134                                                                                                                                                                                                                          135                              136












































































































 141  142                                                                                                    143                              144                                                                                                                                                                                                                          145                              146
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