Page 107 - Vol.39
P. 107
b、廠外園區劃分:以南京台積電為十字座標軸中心,確認其四周分佈主要工廠情況,如 圖6。
北
北
文献探讨中原图片更换为该图片
tsmc
西 東
西
東
南
南
圖5、廠內採樣佈點 圖6、產業園工廠分佈
B、研究工具:風玫瑰圖
通過風玫瑰圖,如 圖7,對當時風向、風速的記錄,搭配TREND CHART,如 圖8,可以幫助我們判斷來源的方向/
發生時間,縮小採樣範圍。
圖7、研究工具:風玫瑰圖,剖析風速、風向快速追查來源 圖8、MeCl2 chart,由日、夜間變化分析可能原因
C、即時採樣分析:當MeCl2/TS peak時,分為廠內外的不同採樣情況。
a、廠內:根據廠內佈點劃分區域,用canister/impinger採樣送至實驗室分析;
b、廠外:查看風玫瑰圖,確認當下風向及風速,然後在屋頂上風口用canister/impinger採樣分析,並請實驗室協助
分析結果,如 圖9。
D、來源追蹤:根據採樣和分析的情 況縮小範圍,確定污染來源。
101 102 103 104 FACILITY JOURNAL 09 2020 105 106 107 108
111 112 113 114 115 117 118
121 122 123 124 125 126 127 128
131 132 133 134 135 136 137 138
141 142 143 144 145 146 147 148