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TSMC / FACILITY DIVISION PUBLISHED 55 56 57 58
VOL.39
廠務季刊
URL.http://nfjournal/
AMC零污染–無塵室異丙醇及丙酮濃度改善
No AMC Contamination–IPA/Acetone Concentration Improvement in CleanRoom
文│楊尊中 陳民軒│中科廠務三部│
關鍵詞 / Keywords 摘要
異丙醇 / Isopropyl Alcohol, IPA 從10奈米製程以降，清洗晶片的機台大量使用異丙醇、硫酸、雙氧水等化學品
丙酮 / Acetone 進行清洗，因其尾氣混排至酸性洗滌塔，未能有效處理的異丙醇及丙酮容易伴隨外
溶解度 / Solubility 氣進入無塵室。因現有處理有機物的化學濾網未能有效吸附這些小分子量的氣體，
純水 / Pure Water 使無塵室環境異丙醇及丙酮的濃度提高，影響良率。
解決此問題的最佳方法，是尾氣先於現址水洗式洗滌塔先行處理。透過提供更
低溫、越潔淨的補充水，增大水中異丙醇溶解量，及降低衍生物丙酮的產生，並將
尾氣外排從酸性管路改至有機管路進行處理。
改善後，化學濾網減量，節省預算。並監控水質，確保穩定的異丙醇及丙酮去
除。此外需加強沸石轉輪及有機排氣管路的定期檢查，預防管路腐蝕現象發生。
1. 前言
隨著先進製程持續演進發展，單顆晶圓堆疊層數亦創 • 無塵室異丙醇濃度可能會影響產品良率 :
新高。為確保製程品質，清潔的流程大幅增加。從10奈米
後段製程工程師比對相關資訊後一致結論後段製程區
製程開始，大量使用異丙醇應用於乾燥或除汙，然以28奈
對於環境異丙醇的濃度極為敏感，可能對良率造成影響，
米製程為例，異丙醇使用量已從每月10頓用量到目前300
因此要求異丙醇的濃度一路緊縮到原有控制條件的30%，
頓/月，差異數十倍。也導致機台排放大量異丙醇至尾氣處
因此如何降低及改善潔淨室內異丙醇濃度成為重要課題。
理系統後再從煙囪排放至大氣。
• 附屬生成物丙酮的濃度上升 :
因季節因素及大氣夜間靜風效應等，往往很有機會將
這些含異丙醇的大氣，再由外氣進氣室吸入，經由外氣處 透過量測煙囪空氣微汙染濃度，發現含高濃度異丙醇
理系統進入潔淨室內，造成潔淨室內異丙醇的濃度上升的 氣體是從晶片清洗機台排出，並經由現址式水洗型洗滌塔
惡性循環不停發生。 處理後排放至煙囪。因排放尾氣中含高濃度硫酸，雙氧水
其影響程度隨著製程進步，空氣微汙染的要求緊縮而 等氣體，很容易與溶於水的異丙醇產生氧化反應，轉化成
逐步凸顯出來。其問題如下 : 丙酮，並再由水中曝氣出來，造成煙囪丙酮濃度升高。進
楊尊中 Tsun Chung Yang 陳民軒 Martin Chen
成大機械系畢業，台積20年，從6廠、14A一路到 北科大能源與冷凍空調所。中科廠務F15P6機械課。
15A、15B。榮幸跟著公司一路成長，感激工作上 研究與改善AMC(氣體性分子污染物)，致力於消滅IPA與IPA啤酒。
提攜我的長官與弟兄，也謝謝老婆及家人的陪伴。
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