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Tech 53 54
Notes
技術專文
3.2. 收集數據及找出污染源
從外氣丙酮測值、風速及風向找出疑似污染源後，確認方位及位置，開始檢視該位置的運轉設備，CUP頂樓冷卻水塔
(cooling tower)及中央洗滌塔(central scrubber)的出口進行氣體採樣，採樣資料如 圖9所示，發現洗滌塔出口丙酮濃度高
達64.8%，從數據發現丙酮(Acetone)的出口濃度大於入口濃度，初步判斷被洗滌的水源影響，而非製程氣體所排放，這些
運轉設備共同點使用同一個水源(P1/2的RCW01)，因此污染源造成丙酮的出口濃度大於入口濃度為水源影響。進入
Scrubber製程氣體經過洗滌過程吸附循環水中的丙酮(Acetone)，在藉由煙囪排出 ; cooling tower則是藉由灑水蒸發至外
氣，然而在西南風或風速較低時被Penthouse吸入，導致無塵室環境丙酮(Acetone)變高。
CUP CUP CUP P12 C/T P34 C/T
ScrubberA ScrubberB ScrubberC
Inlet outlet Inlet outlet Inlet outlet Inlet outlet Inlet outlet
Acetone 2.9% 64.8% 2.8% 43.6% 1.7% 23% 0.78% 1.3% 1.6% 4.6%
圖9、CUP sentral scrubber & cooling tower使用canister採樣data
4. 結果與分析
4.1. 收集數據及找出污染源
與水課配合採樣來源水(RCW01)，從檢測報告中可看
到來源水的丙酮濃度1.86%，異丙醇的濃度0.15%，如 圖10
所示，確認水源(RCW01)內含有丙酮(Acetone)及異丙醇
(IPA)，但比對機台排放水的有機物並無丙酮，從文獻得知
，異丙醇及雙氧水混合在一起時，容易轉換成丙酮，因此
可推測原先機台製程排放至桶槽的異丙醇，藉由氧化而大
部分已被轉換成丙酮。再次請水課比對機台排放水，確實
部分機台所排放的含有異丙醇及雙氧水，含有異丙醇的水
量較少比較好去著手處理，因而選擇處理異丙醇而不是雙
氧水，這些含有異丙醇排放水會先排放到AOR桶槽，因此
開始進行AOR採樣分析，從 圖11水質檢測報告可看到AOR 圖12、Scrubber及cooling tower水源到排出氣體整個流程示意圖
桶槽含有的異丙醇濃度11%，因此判斷RCW01的異丙醇來
源為AOR。 物濃度大於平衡濃度，則液體傳向氣體的傳輸速率大於氣
體傳向液體，如 圖14所示，Scrubber循環水中污染物濃度
濃度 濃度 越低，空氣污染物從氣態進入液體中的單位通量就越大，
丙酮 1.86% 丙酮 N.D. 因此必須從來源水進行消除污染源，才能有效降低
異丙酮 0.15% 異丙酮 11%
Scrubber及Cooling tower所排出的氣體所含丙酮濃度。
圖10、RCW01水質檢測資料 圖11、AOR水質檢測資料

4.2. 污染源去除方法
從運轉設備的供應水源到排出氣體整個流程圖來看，
如 圖12所示，AOR進入RCW01跟其他含有雙氧水製程排 確認污染源為AOR後，且丙酮產生的主要來源為異丙
放水混和氧化反應，產生丙酮，在藉由Scrubber洗滌吸附 醇所造成，與水課討論出幾個去除AOR的異丙醇方法，如
在空氣及cooling tower灑水蒸發至外氣。從質量守恆觀點 生物處理法、AOR加熱去除以及AOR切至廢水處理回收。
探討，若將Scrubber設為control value，製程氣體以及 初始提出以AOR加熱去除的方法來解決含有異丙醇的問題
RCW補水進入Scrubber，排出的部分為煙囪氣體以及排水 ，與水課合作進行異丙醇加熱去除實驗，從異丙醇的易揮
發及沸點在82.5℃的特性，利用加熱AOR水源→循環灑水
，如 圖13所示，再配合 圖13的Scrubber入出口丙酮濃度
→抽氣來去除水中含有的異丙醇，使用廠內工程餘料及設
數據，可得知污染源為補充水RCW01。補充水污染物傳向
氣體，在亨利定律應用於微溶氣體可得知，當液體中污染 備來組裝架設實驗所需的環境進行實驗，詳細實驗設備如

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