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A3 2017/06/07 2017/07/12 2017/09/12 51 52 53 54
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2017/05/02 更 更換濾網 更 更換濾網 更 更換濾網
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2017/06/23 2017/08/02
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2017/01/03
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2017/09/01 2017/09/29
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2017/01/03~2017/05/02
2017/05/02~2017/09/29
圖6、Inline GCMS Acetone data
，活性碳濾網對於丙酮抵禦能力較弱，易吸附一段時間後就飽和。從 圖7 圖8將Acetone data(外氣&A區域)、風速與風向
進行比對，發現在風向為西南風及風速較低時，受到外氣丙酮的影響更為明顯，當外氣丙酮濃度上升或下降，無塵室丙酮
測值也會跟著上升或下降，趨勢相同，因此初步判斷污染源應在廠區P3/4的西南側。
Out side air
低風速/風向相反
A3
圖7、GCMS Acetone trend chart(out side air & A3區域)
N
P4 P3
N
05/02 風向 P2 P1

CUP煙囪

N
05/19風向 風 向 : 西 風

圖8、廠區layout、風速及風向比對圖

FACILITY JOURNAL 09 2020 91 92 93 94