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002 粉塵變不見-二流體與旋風集塵的綜合運用
The application of two-fluid atomization nozzle and cyclone dust collection
姚明宗 曾喚培/ 台中廠務三部

007 Pumping-line全自動清管器的開發與應用
Development and application of an integrated auto-clean machine for Pumping-line
植軍章 謝儀明/ 南京廠務部

014 8吋成廠區在LSC拆裝的空間位置突破-以8廠為例
The Breakthrough in the Spatial Location of Local Scrubber
曾能駿 李家維 謝穎至/ 新竹廠務一部
018 iSystem導入對廠務LSC穩定運轉的突破與創新
The Breakthrough and Innovation of Local Scrubber Stable Operation by iSystem Implementation
李珩銘/ 台中廠務三部
029 單向流無塵室氣流組織改善及精進管理
Air Distribution Improvement and Management of Downflow Clean Room
葉濤 姜玉龍/ 上海廠務部
041 200mm廠區系統擴充面臨考驗與突破-以VOC/VEX系統擴充為例
Challenges and breakthrough of 200mm Fab system expansion-example by VOC/VEX system expansion
李振中/ 新竹廠務二部
050 RD Fab外氣AMC改善-沸石濃縮轉輪運轉參數最佳化之分析與驗證
RD Fab Outside Air AMC Improvement-
Analyzation and Verification of Optimizing Operating Parameters of Zeolite Rotor Concentrator
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陳建豪 詹資盛 張貴琳 / 新竹廠務四部 新竹廠務六部
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057 應用AI-AMC機械學習預測與污染來源分析
AI application-AMC prediction by machine learning and pollution source analysis
莊鎧瑋/ Arizona Facility
063 冰機最佳化的最後一哩路-冷凝器ACTS的應用
Chiller Optimization-Auto Clean Tube System for Condenser of Chiller
黃承灝 邱冠瑋/ 台南廠務一部

069 無塵室空氣再淨化-外氣預水洗處理
Cleanroom Supply Air Quality Improve-Outside Air Pre-washer
張志宏/ 新廠設計部

074 虛驚不再來-N28 EPI LSC洩漏全面改善
The prevention of hydrogen leak from EPI LSC in N28 plant
張景隆 楓祥儀 楊竣凱/ 台中廠務一部

079 馬達軸承潤滑改善與超音波預知保養手法探討源分析
Lubrication Improvement for Electric Motor Bearing and Investigation of Predictive Maintenance by Ultrasound Detection
林煒喆 林成彥 陳博政/ 台南廠務四部

088 流體管路線上阻斷工法探討
Explore for Line stopping method
郭子豪/ 台南廠務二部
093 應用IOT技術於AAS早期震動故障預警系統
Application of IOT Tech. on Air abatement system Failure Prediction
曾柏憲 張子鴻/ 台南廠務四部
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