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4. 結果分析
4.1 去除效率驗證
本次設備改善的驗證單位我們請工研院利用微孔均勻沉
積衝擊器(MOUDI)來做氣懸浮微粒的粒徑分析，利用同一台的
IPI 310B+scrubber分別比較改裝前與改裝後排氣出口的粉塵粒
徑(圖9)，可以發現到不論是PM1/PM2.5/PM10不同大小的粒狀
物，綜合粒徑去除效率皆可達到86%之高。
另外本次安裝的爐管製程還會產生大量的HCl副產物，我
圖7、水氣分離器安裝處
們也委請環境實驗室幫忙分析出口改裝前與改裝後的鹽酸比較
(圖10)，平均下來也有87%的去除效率，代表可以有效去除HCl
3.4 參數設定與其它安裝設備 鹽酸的汙染。
從以上的設計概念中，改變不同的供水與供氣量，經由 最後我們追蹤同一台的local scrubber出口以及同一支SEX酸
幾個實驗模型的測試，找到了適合廠區的參數設定如 表1： 排立管的排放濃度，在第一週/第一個月/第二個月分別進行無
機酸採樣分析，皆可維持scrubber出口效率以及風管的改善效
表1、噴頭液氣比設定 率，更可以證明此為有效且可維持穩定效率的粉塵去除設備。
圖9、粒徑分析改善效率
有了最佳的參數設定後，同時也發包安裝水流量計與氣
體流量計，紀錄原始設定的氣液比，同步回傳至中控室並設
定警報可隨時監控相關設定條件有無變化，維持去除效能的
穩定(圖8)。
圖10、鹽酸改善效率
4.2 空汙處理設備與風管延長保養周期比較
從設備保養的改善層面來看，在改善之前，①scrubber的
出口仍有大量粉塵排出，因此需要不定時的風門粉塵清除，保
養的週期也大致維持在1個月就需要切閥清潔腔體；安裝此粉塵
圖8、二流體流量監控設施 去除設備後，持續觀察出口的水氣分離裝置以及二流體噴頭的
灑水功能，60天下來均能維持乾淨無明顯粉塵的狀態，唯獨因
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