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Tech
Notes
技術專文
為下方水槽匯集了出口的粉塵，所以需要清洗水槽，長期來看 作者介紹
local scrubber的保養週期已可延長到3個月之久，大大降低切閥
姚明宗 M.C. Yao
的風險與scrubber保養的次數。②10吋風管的彎管與水平處原 成功大學機械系研究所畢業。2012年加入廠務機械課，期許能
保持不斷學習的熱誠，激勵自己同時也感染他。
先大量的白色粉末也從改善後的圖中可清楚看到沒有水氣與二 Stay Hungry, Stay Foolish.
氧化矽累積，再也不用因為每季出口壓力不足，與設備借機切 曾喚培 Willy Tseng
閥，開立level-1高風險施工單，冒著MO的風險施工。③原先塞 空污不做好，地球很難保/燃煤一直燒，五酸要減少。
人人愛花草，空氣要做好/環保小寶島，由我就做好。
在屋頂central scrubber除霧層濾網的問題，爐管區較為嚴重的
區域也從以前大約28天壓差會上升到1800pa需要停機PM，改
善後大約變成59天壓差才會上升至1800pa，足足延長了一倍時
間。由此可知，這個二流體粉塵去除設備改善不僅可以降低鹽
酸排放，在施工與保養層面從管路切閥、機台保養與level-1工
程均可改善50%以上，大幅降低工程師工作負擔(圖11)。
圖11、改善後的LSC內部狀況，風管示意以及Central SCR濾網阻塞的變化
5. 結論
5.1 廠內的改善現況與擴大運用範疇
綜合以上所述，二流體的霧化以及旋風集塵的概念的確
可讓爐管製程所產生的二氧化矽粉塵以及鹽酸的排放降低，不
但粉塵與鹽酸的去除效率可達86%以上，同時在保養與高風險
作業更是降低50%以上操作次數，大大降低工程師負擔。但目
前第一階段僅針對ALD製程進行改善，xDPOTx這類因為高溫
裂解所產生的氧化矽的數量也可說不少，是我們第二階端改善
的目標；另外CVD化學沉積也會產生不少氟化物與粉塵累積在
風管，期許之後針對不同機型進行改善，一同為降低PM2.5排
放同時改善我們的工作環境而努力。
參考文獻
[01] 爐管及離子植入製程設備與技術，e-Learning
[02] 空氣污染控制與設計 - 中山大學環境工程研究所
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