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技術專文

5. 結論

5.1 再生水導入前之風險評估對策結論 5.2 台積電整體再生水導入時程與未來展望

本文藉由一開始借鏡SSMC成功導入市政再生水之案例， 台積電為建立多元用水供應策略，將民生污水與工業廢
並於導入前訂定21項合約水質檢測方式及標準，透過7項線上 水回收轉製再生水，成為自來水替代水源，達成水資源永續
水質分析儀連續監測再生水水質，透過雲端傳輸資料的方式 目標，降低自來水用水占比，還水於民，減少旱季對農業、
將即時數據導回台積電廠務端，即時監控再生水供應品質， 民生的影響及工業用水的衝擊。
並於導入製程用水前規劃緊急應變流程，讓值班人員能夠於 如 圖15所述，截至2022年八月，於永康再生水廠試營運
再生水供應異常時做即時的緊急應變處理。 期間，已成功導入再生水用於廠內次級用水，平均每天以達
除此之外，藉由與台積實驗室及廠務實驗室的合作確保 4800噸的再生水使用量，預計2025年後每日使用再生水量達
水質檢測數據的準確度，並於導入製程用水初期加強水中金 67,000噸。
屬離子及指標性陰離子的濃度檢測，同步工廠端加強製程端 台積電南科工業再生水廠為全國首座民營再生水廠，以
的產品檢證分析，達到安全且穩定的再生水導入。 廠務運轉經驗並輔導第三方經營單位營運供水，建立符合晶
最後，再依據ORTOC模擬導入再生水後的TOC狀況，結 圓製造標準的供水品質與穩定度，實現永續水資源的目標。
果顯示除了尿素外，尚有仍未定義出之小分子TOC在再生水
導入於製程用水後有上升13~15%，也是未來需要多加留意之
處，雖然如此，實際TOC的狀況仍需透過實際導入後才能知
道結果。

圖15、再生水導入南科各廠時程表

參考文獻
[01] Paul Tan & Harry Seah(2016) Impact of Newater as Feedwater
for the Production of Ultra-High-Purity Deionized Water and
Manufacturing Process. FUTURE FAB International Issue 16,115-119.

作者介紹
賴人暐 J.W. Lai
台大環工所畢，現任職於台南廠務三部水處理二課。
工欲善其事，必先利其器。唯有不斷充實自己，才能面對廠
務工作的各種挑戰，而每次的挑戰，都會成為養分，讓我更
加成長茁壯。
劉柏青 P.C. Liu
Take one simple idea and take it seriously.
凡事往簡單處想，往認真處行。

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