Page 30 - Vol.48
P. 30

Tech
                                                                                                      Notes
                                                                                                      ׭೛஠Н



                                                    TSMC / FACILITY PUBLISHED
            VOL.48
                                                     ⶞↗⨡⃈


                                                      URL.http://nfjournal/



            屃䯒㫲䮹䰯ᴉ % 7攮㣷俀㳃㯕ㄾ圑㉠壌

            7KH 6WXG\ RI WHFKQRORJ\ RI &OHDQLQJ  % 7 $QLRQ 5HVLQ RI 8OWUDSXUH :DWHU 6\VWHP




                                                                                              㗘ɞ栤呀㦛ɞ⎨ỽ⼱〉愹ɞ


            ㌖堿   $EVWUDFW

                巖䵥㲅䵌䷂Ṿ72&䛕䀔⻷䯲㏸ⱞ㘍欩┒崻Ῥ㲅剄昭戞姒˛760&⑕⼱⎑❹㝅㐬 % 7⾂曁㪊兓悟䩜Ṿ枳ⱞ❹㪊兓ṛ丫≮㝰欩
            䀔⻷72&㯩䖪䛕■條熂➘恫悟丫ṛ⥫㭲⇞䕰㹖㵨䛕㘊⽠ῗ㵨㸹㘁㪊兓˛㝽㗘Ἔ䶊⎨ỽ⼱⽋⊇䛕丫Ṝ㪊兓㹖㵨央便熂戞漯㏳婟
            ⾂曁㪊兓㹖㵨䛕㝚㖙㘊⽠熂䄋⑕⼱⎑悃墝㪊兓㹖㵨ᾭ㦾㐡Ῥ㘁の幀˛㝽央便㏲䕹應⢐㴹嘶 ␞㵨 㜮㱴䛕㹖㵨㘊⽠ⱞ$PEHUOLWH
            +35    ⟜⾂曁㪊兓悃墝㹖㵨熂㪊兓㯩䖪䛕72&␌暵䏘欩悥   ἶṛ˛䶡㟭墹㙟熂≗≶ⱞ䷤悟⏰⼱桡嚦䑗 ≮⨜72&䄋   SSP
            ⓝ㝻䷤桡嚦䑗 ≮⨜72&䄋  SSP 䛕⾂曁㪊兓悃墝朳丫㹖㵨熂   ⁜㝙↸⑀ⱘ䕳㲅72&㵨㸹剄  SSEἶṜ˛

            旃捜婅   巖䵥㲅˚72&˚⾂曁㪊兓˚㹖㵨

                7KH 72& FRQFHQWUDWLRQ FRQWURO LQ XOWUDSXUH ZDWHU V\VWHP LV YHU\ LPSRUWDQW IRU KLJK TXDOLW\ ZDWHU VXSSO\  :KHQ IDFLQJ
            ZLWK +LJK FRQFHQWUDWLRQ 72& UHVLGXH DW HDUO\ VWDJH RI QHZ QHJDWLYH UHVLQ SXW LQWR VHUYLFH  DOO IDFWRULHV RI 760& XVHG RQOLQH
            UHJHQHUDWLRQ DQG ULQVH LQ PDQ\ WLPHV WR FOHDQ QHZ UHVLQ  2XU SDSHU LQWURGXFHG RIIOLQH UHVLQ FOHDQ DSSDUDWXV EXLOW E\ 1-)$&熂
            PDLQO\ VWXGLHG RQ WKH HIIHFWLYH ZD\ WR FOHDQ ZHDN DQLRQ UHVLQ  DQG DOVR JLYH QHZ LGHD RQ FOHDQ UHVLQ ZRUN  7KLV DSSDUDWXV XVLQJ
             $FLG $ONDOL GRVLQJ EDFNZDVK EORZLQJ  ULQVH PHWKRG WR FOHDQ $PEHUOLWH +35     ZHDN DQLRQ UHVLQ  WKH UHVLGXH 72& UHPRYDO
            UDWH FDQ UHDFK DERYH      7KH UHVXOW VKRZHG  ZKLFKHYHU FOHDQ WKH UHVLQ DIWHU RULJLQDO SUHWUHDWPHQW RU XQSUHWUHDWPHQW  WKH
            UHVLGXH 72& FRQFHQWUDWLRQ FDQ EH FOHDQHG XQGHU    SSE LQ     PRQWKV

            Keywords   8OWUDSXUH :DWHU  72&  :HDN $QLRQ 5HVLQ  &OHDQ



                ℋ墾                                                 㑅䈹▜朥
                ❹⎛ⱟ欥⊇䩜⸶嘮Ṿ熂巖䵥㲅Ῥ㈚䵌䷂ ἶṜ䱲䪂83:䵌                          ⶞‥⳶䏦攮㣷俀䕂䄷⻥⊈≝䋄
            ䷂ 㚀Ṟ⑀㉧例䛕ṑ䔁熂⇇Ῥ㈚㲅崻㝔䝅㏶⿂桐丫ṛ䛕䕰䕳˛
                                                                   ⧓  ❧ ㊑䦋  >  @ 熂⏰㲅Ṿ72&␛朳⮡䊺崻Ẍ姒恫悟⑕嚦
            83:䵌估㚀䖂⥫⁜嚦䑗◿↔㨜㉡熂⇇Ṿ朳⮡ỵ㐬㪊兓 ἶṜ
                                                               䑗曟㰆䛕㪊兓⢥悃墝␌暵˛❹83:䵌䷂Ṿ熂✱Ṟ⑝嚦䑗
            䱲䪂㪊兓 ◿↔㏲䕹䛕㚀朳⮡ỵ㐬㋑墤␌暵㲅Ṿ朳⮡㆜䊺崻˛
                                                               曟㰆␛⋰兎⯫ᾞṞ⑝熂㪊兓Ằ≗䊃Ṟ⑝䛕䩿梯熂⧓ 墹 ㊑
            㪊兓䛕䩿梯⿙⥫熂⍖㌽㝚㪰⑙㉡ⓝ䅲㪰⑙㉡熂㮵⥧惕㝚曎朳
                                                               䦋熂⼱↸⺉䕹䛕 % 7曁㪊兓䄋'XSRQW⼱䊝䛕$PEHUOLWH䵌
            ⮡⟜ⓝ曁朳⮡⟜ẜ≗˛㪊兓䖂欩≗⮡傫⑙䊺傫⑙偝㉡熂剘⇇
                                                               ≨熂⧓ 墹 Ṿⱞ % 7曁㪊兓へ兎悃墝ỗ嫄䶁䛕㰥彔熂⇇Ṿ
            ἧ朳⮡ỵ㐬⋢䝉㰥⇈㝚ỵ㐬Ⰺ戠欩熂⥧⾳⥸⥫䄋❤⾳䑔䌑梗
                                                               +35     +35     2+ ⟜曁㪊兓⇈㝚ἶṜⅻ勀䛕䋊へ熐
            䳣熂㲅㶒暌⋬Ⱡ熂㪰㤁⾈⻷欩熂⍧⯉䪺⯫へ⧎䮚ⅻ漯˛ᾗ㪊
            兓䛕⸶㦾䕳┒Ṿ熂⿑⿑⑼㝚Ɫ戠㝚㪰ᾟ傫䊺␛ṑỬ䅲㪰札                          Ȋ  勀⧎䛕䊺䑗˚⍧⯉䪺⯫へ˛
            崻熂❹ῐ䕹≮㝰㝔恡㾉㼇娴戜㖏熂⿂桐≋㲅㲅崻熂✱㮵≮㭲                         ȋ  ≋勃䛕㔞ᾭ兎⋬ⓝᾟ⤤暞兎⥱㝚㖙㹬Ɫ⇞䕰⋢剘㲅䛕ῐ
            ῐ䕹㚓熂村悃墝⇞䕰㹖㵨˛䜿⊞⑕⼱ⱞ㝅㐬⯝㉡䛕㪊兓㵨㸹                            䕹熂㝚㖙暞ᾟ䵌䷂悜墝㉡㝽˛
            ≋㲅72&剄Ɫ姒Ⱡ㘍  SSE熂㊞兎⥱㋦↶ῐ䕹˛                           Ȍ  ㋨㲲㠤へ兎枯⺉ⅻ䗁熂Ṟ№Ṟ㝔壼㝚㪰䊺㲲㠤熂惕兎⥱
   25   26   27   28   29   30   31   32   33   34   35