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TSMC/ Facility Published
表 2：各國限電賠償比較表 ( 引用自台電官網 )
1.2 緊急發電機的重要性
隨著半導體工廠快速擴張及製程技術節點的推進， 統 (Facility System) 及 重 要 無 塵 室 (Clean Room,
穩定的電力供應對於維持廠區的生產環境影響愈發 CR) 系統，該系統若失效，會造成廠區生產中斷、
重要。對於台灣來說，除了野外飛蟲鳥獸會危害電 產品報廢、機台復機時間長、氣狀污染物 (Airborne
力輸送外，夏季的颱風及午後雷陣雨造成的強風、 Molecular Contamination, AMC) 濃 度 高 等 影 響，
閃電亦 是對電力穩 定供應的一大 威脅。為了消 除 相 關 設 備 如 冰 機 (Chiller)、 鍋 爐 (Boiler)、 空 氣 排
此危害，半導體工廠除了以「不斷電電源系統」 氣 系 統 (Air Abatement system, AAS)、 過 濾 排 氣
(Uninterruptible Power System, UPS) 來保護重要 (Exhaust)、集中式廢氣洗滌塔 (Central Scrubber)、
設備不受電力壓降 (Voltage Drop) 影響外，亦會設 廠 務 監 控 系 統 (Facility Monitoring and Control
置「 緊 急 發 電 機 」(Emergency Generator) 做 為 備 System, FMCS)、 可 程 式 控 制 器 (Programmable
援電力 (Backup Power) 來使廠區不受停電及限電 Logic Controller, PLC)、 監 控 及 資 料 擷 取 系
影響，保障人員安全及重要設備維持運轉。其中受 統 (Supervisor Control And Data Acquisition,
緊急發電機保護的負載中優先度最高為「生命安全 SCADA)、 超 純 水 (Ultra Pure Water, UPW)、 廢 水
系統」(Life Safety System) 或稱「生命攸關系統」 處 理 (Waste Water Treatment, WWT)、 製 程 冷 卻
(Life Critical System)， 該 系 統 若 失 效， 會 產 生 人 水 (Process Cooling Water, PCW)、 化 學 品 供 應 系
員重傷或死亡、設備嚴重毀損或環境危害，生命安 統 (Chemical Dispense System, CDS)、 自 動 物 料
全系統設備包含消防系統 (Fire Fighting System)、 搬 運 系 統 (Automatic Material Handling System,
電 信 系 統 (Telecommunication System)、 緊 急 AMHS)。由此可見，緊急發電機的重要性不言而喻。
照 明 (Emergency Lighting)、 門 禁 系 統 (Access
Control System)、 電 梯 (Elevator)、 廣 播 系 統 近 年來 由 於 台灣 夏 季供 電 緊 迫及 台 電 公司 限 電
(Public Address, PA)、 外 氣 空 調 箱 (Make-up Air 頻率升高，許多大能源用戶如台積電 (Taiwan
Unit, MAU)、閉路電視 (Closed-Circuit Television, Semiconductor Ma nu factu ri ng C om pa ny,
CCTV)。受緊急發電機保護的負載也包含重要廠務系 TSMC)、 台 泥 (Taiwan Cement Corporation,
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