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TSMC/ Facility Published
4.2 改善前後 VOCs 去除效率差異 經 P3 VOC01 試驗成功後，F15A 將 PTFE 絕熱邊條全
面導入剩餘 13 台 VOC 設備。為比較相同環境溫度的
為保持實驗的準確性，P3 VOC01 脫附溫度於 PTFE 情況下，絕熱邊條安裝前後的差異性，圖7 及圖8 分
絕熱氣密邊條安裝前後皆控制於 220℃。由圖6 得知 別為每台 VOC 於 2021 年 8 月 21 日絕熱邊條安裝前，
P3 VOC01 安裝絕熱氣密邊條後，VOCs 去除效率由 及 2022 年 8 月 22 日絕熱邊條全數安裝後的 VOCs 的
99.2% 上升至 99.6%，可證實新增氣密邊條絕熱層將 去除效果。由圖 7 可發現因產能上升的緣故，2022
有助於 FKM 氣密邊條保持氣密性，使 VOCs 效率得 VOC 設備的入口濃度約上升 8%。但在圖 8 中，設備
以有效改善。 安裝絕熱邊條後 VOCs 的總排放量由年排放量 8.4 噸
降至 7.4 噸，排放量約年減 12%。
經 14 台 VOC 設備的試驗結果，可驗證使用 PTFE 絕
熱邊條建立一道隔熱區，可避免 FKM 氣密邊條因高
溫產生形變，如此即可將 VOC 設備長時間保持高溫脫
附的狀態，從而使去除效率進一步上升。
圖 7： 2021 及 2022 入口濃度比較圖
圖 6： P3 VOC01 改善前後比較圖
圖 8： VOC 改善前後排放量比較圖
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