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VOL.51 廠務季刊 與時俱進的煙道革命_廠區洗滌塔氨氣排放削減研究與應用
圖 3：半導體空氣污染排放路徑
TSMC F6 及 F14A 皆遭遇酸性洗滌塔 (SEX) 酸鹼混排 因氨氣溶於水形成鹼性之水溶液，根據文獻回顧內
的空污問題，在 F6P1 廠區中，SEX09 於年度煙道檢 容，我們預期洗滌水質在水中氫氧基濃度、氨根離子
測時發現出口氨氣濃度大於內控標準 (1ppm)，經以 濃度降低時對氨氣能有相對較佳的洗滌效率，為調整
手持式 SPM Flex 紙帶式氣體偵測器逐段比對量測發 以上水質條件，本文將藉由調整排水旁路閥件開度改
現前端 DNS 製程機台同時使用氫氟酸及氨水，但於 變洗滌塔換水量以使水中氨氣離子濃度降低，又因空
初期配置時未進行酸鹼分流，且因空間限制緣故無法 污設備操作許可限制，SEX 洗滌溶液僅能操作於 pH
新增洗滌塔前處理設備進行前處理，故在下節中將以 7 至 11 之間，故後續實驗將在洗滌溶液 pH=7.5、8.5
之作為案例討論，將風機定頻在相近運轉風量下進行 及 9.5 下進行探討 RCW 換水量對水中氨離子濃度及
洗滌塔水質參數調整對氨氣去除效率之研究，並從結 洗滌溶液酸鹼度對氨氣去除之影響結果。
果進行改善手法成效分析；而 RCW 換水量對洗滌塔
水質影響改善實驗則以 TSMC F14P4 之洗滌塔進行測 而針對提高液氣比或氣液接觸面積議題，雖存在各種
[10] 如提高潤濕因子、調降風機運轉頻率減少處理風量等
試驗證。溫等人在煙道連續監測研究中 曾提及不
同製程機台、廠務設備高濃度排放時間不同將影響煙 手法，但因洗滌塔設計或廠區機台生產不受影響之緣
道出口污染排放濃度，若在採樣數據不足的情況下容 故，無法任意變動需求壓力，為能實施有效且未來持
易因為採樣手法、採樣時間、是否排放高濃度污染物 續可行的改善方式，本文將採用在不違反操作許可循
等因素誤判改善手法成效性，故為降低這些每次實驗 環水量條件下，依靠調整循環水泵數量或出口閥件開
中不可控變因，實驗中將以 API 氣體分析儀同步採樣 度進行實驗測試，提高洗滌塔循環水量增加可供氣液
記錄洗滌塔入口及煙道出口，以連續監測方式取得改 交換之有效面積。綜上所述可設計如表1 之各實驗條
善期間氨氣濃度變化數據。 件，其中 N. 表示常態運轉下之狀態及設定；針對循
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