Page 69 - Vol_51

TSMC/ Facility Published

換水量對水中氨氮濃度測試結果如圖6，由圖中結果 綜上述實驗結果，針對具酸鹼混排之酸性洗滌塔 (SEX)
可發現提高每日換水量可降低水中氨根離子濃度而提 氨氣改善，我們將洗滌溶液控制在 pH=7.5 並同時提
升洗滌溶液潔淨度，但隨換水量增加，此動作對水質 高循環水洗滌量及每日換水量以提高對氨氣的去除效
改善幅度將受限於其來源水質而逐漸趨緩。 率，經第三方重複採驗煙道出口濃度驗證改善成果如
圖7，其對氨氣排放濃度改善約 83~96%，出口濃度
皆小於 1ppm，符合 TSMC 內控標準。

圖 6：洗滌塔換水量對洗滌溶液氨氮改善自檢比對數據圖

圖 7：改善前後酸排煙道氨氣濃度數據圖

��
��