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TSMC/ Facility Published

環水量影響探討我們以表一實驗組 1~3 條件進行， 4~6，即循環水量於常態運轉條件下改變洗滌溶液 pH
而對 pH 影響可由實驗組 4~12 條件下進行，但為簡 設定進行探討。
化實驗，減少單次測試變因數量，本文將僅以實驗組

表 1：煙道氨氣排放改善實驗設計表

實驗組 循環水量 (CMH) pH 設定 入口平均濃度 (ppmv) 出口平均濃度 (ppmv) 平均去除效率 (%)
1 N. -1 pump N.
2 N. N.
3 N. +1 pump N.
4 N. 7.5
5 N. 8.5
6 N. 9.5
7 N. -1 pump 7.5
8 N. -1 pump 8.5
9 N. -1 pump 9.5
10 N. +1 pump 7.5
11 N. +1 pump 8.5
12 N. +1 pump 9.5

結果與分析

根據計畫及研究方法進行實驗數據採樣，其結果如表2 高去除效率，但其提升效益非與水量增加關係呈現完全
所示，常態運轉條件為運轉3顆循環水泵，pH 設定8.8。 正相關，推測其可能原因為雖將循環水量提升，但因內
首先由實驗組 1~3 數據，增加循環水泵運轉台數提升 部填充材為隨機堆疊，增加之循環水非完全潤濕於填充
洗滌塔循環水量，其水量對氨氣去除效率對照如圖 4 所 材表面而使之轉化為相對應的氣液質傳有效面積，故針
示，當循環水泵運轉台數由兩台增加至四台時，洗滌塔 對填充材堆疊、樣式、灑水分布等等因子對去除效率影
循環水量約可增加一倍，洗滌塔對氨氣去除效率中位數 響之議題仍有待未來進行研究探討。
變化約為 61%、60% 及 65%，增加循環水量可少量提

表 2：洗滌塔操作參數及入出口濃度紀錄表

實驗組 循環水量 (CMH) pH 設定 入口平均濃度 (ppmv) 出口平均濃度 (ppmv) 平均去除效率 (%)
1 85 (3 pump) 8.8 1.70 0.75 55.33
2 55 (2 pump) 8.8 1.75 0.76 56.54
3 102 (4 pump) 8.8 1.85 0.7 61.78
4 85 (3 pump) 7.5 1.56 0.44 71.26
5 85 (3 pump) 8.5 1.59 0.63 59.69
6 85 (3 pump) 9.5 1.80 0.78 56.34

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