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TSMC/ Facility Published

4.5 系統設計流程及效益評估

電透析/蒸發提濃之流程為廢水經由酵素處理雙 NF/RO 之流程為一樣先經由酵素處理，接著透過兩
氧水後透過電透析純化分離磷酸，純化後的廢水 段 NF 去除銅離子，再利用離子交換樹酯進一步去
再經由離子交換樹酯去除微量銅離子，最後進入 除微量銅離子，銅離子濃度 <1% 之廢水通過 RO 及
加熱釜中再次提濃，而經電透析之原廢水之殘餘 加熱釜中提濃至目標，而 NF 濃排經由樹脂提銅後
之磷酸及銅先經由樹酯提銅後再化混處理後排 至與 RO 濃排至化混系統處理後排放，放流水 PO 4 3−
3−
放，放流水 PO 4 為 0.15mg /L， 固 體 廢 棄 物 約 為 0.15mg/L，固體廢棄物約 2,075kg/day。
1,219kg /day。
其流程與質量平衡圖如圖 13。

⒜

⒝

圖 13：含磷廢水質量平衡圖 (a) 電透析法、(b)NF/RO 膜法

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