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TSMC/ Facility Published

2.2 儀器架構與分析流程 2.3 測量誤差來源分析

自動滴定儀 (ATRS) 的儀器架構主要分成三個部分 : ➀ 在整個分析流程中不管是取樣、滴定或反應槽等元件
取樣元件；➁滴定元件；➂反應槽元件，儀器利用這 都會對分析結果產生誤差影響。以取樣元件中的雙三
些元件做到前面所提到的樣品總重測量與樣品中雙氧 向閥組 (AV-05、AV-06) 為例，在微量取樣的情況下
水重量測量。 只要兩顆閥件作動有時間差就會對樣品定量造成不穩
定的結果，他廠也有分享過針對取樣改善的技術通報
由 SDU QC 管路經三向閥 (AV-01) 控制旁支分流至 [01] ，以增加樣品取樣量來提升分析穩定度與再現性。
ATRS 後由六向閥或雙三向閥組 (AV-05、AV-06) 組成 F15A 在這個部分也有實際將雙三向閥組 (AV-05、AV-
取樣元件可以做到樣品置換與定體積取樣，而定量後 06) 兩顆閥件中間作為樣品定量空間的 1/8”PFA 管
的樣品會被去離子水推擠排至反應槽裡，反應槽元件 路，由原本的 35cm 增長至 65cm 並觀察改變後分析
會開始進行攪拌稀釋同時反應槽內的白金電極也會偵 結果的在現性，結果在化學研磨液 F6B(H 2 O 2 濃度 =
測環境電位。接著滴定元件步進馬達會驅動玻璃管柱 1wt%) 的測試結果中確認可以有效改善雙三向閥組的
與活塞使滴定液添加至反應槽與 H 2 O 2 反應，隨著滴 取樣誤差 ( 圖6)。
定液的加入環境電位會開始上升直至超過設定值後完
成滴定流程 ( 圖5)

圖 5：SDU& ATRS 架構

圖 6：P1 L3 F6B-3 H 2 O 2 wt% 取樣量調整前後差異

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