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VOL.52 廠務季刊 化學研磨液供應系統 H 2 O 2 濃度測量優化

實驗方法

3.1 取樣誤差改善

我們預測在整個取樣流程中雙三向閥組 (AV-05、AV-
06) 兩顆閥件作動有時間差就會對樣品定量造成不穩
定的結果。

在圖 16 情境一中 AV-05 作動較慢，導致原本定量要
被 DIW 推進反應槽的樣品先被排掉部分才進反應槽，
所以實際取樣量比預期少。而情境二中 AV-06 作動較
慢，導致原本應該排掉的樣品先被排進反應槽，DIW
才將定量樣品再推進去，所以實際取樣量比預期多。

不管是情境一或二都會造成誤差，即使是 AV-05、
AV-06 作動時間一致，只要是兩個閥件狀態轉換的時
間太久都會造成誤差，雖然可以預期有這種情況發生，
卻沒有較好的辦法穩定閥件的作動，所以我們預期以
增加整體取樣量的方式希望減少誤差量的占比率。

而樣品來源的流量與壓力也會對取樣造成誤差，前
面提到樣品由 SDU 轉至 ATRS 經由閥件 AV-01、AV-
06、AV-05 的充填管路的流程，雖然管路長度固定但
是在測量供應側與混酸側不同來源壓力時會觀察到分
析結果的誤差，如化學研磨液 : A7100 線上 H 2 O 2 濃
度的測量結果在混酸側總會比供應側低 0.010wt%，
原因可能是不同壓力流量使管路截面積改變而取樣量
也一起改變了。

因為混酸側的壓力來源是 Mixing-Tank 底部的
pump 而供應側的壓力來源則是兩顆串聯的 Supply
pump，所以混酸側的取樣壓力通常都較小。由 QC
路徑上的流量可以看出兩者的差異，於 ATRS 取樣時
混酸側流量為 7kg/hour 而供應側則為 20kg/hour，
這也是目前推測造成誤差的原因。有以上的推測，我
們在無法改變 pump 供應壓力的情況下，在 AV-01 後
加裝調壓閥希望在 ATRS 取樣時混酸側與供應測管路
的流量可以接近以減少分析誤差 ( 圖 17、圖 18)。

圖 16：ATRS 雙三向閥組取樣做動程序

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