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TSMC/ Facility Published

前言 文獻探討

台北美國商會於 2020 年出版的 TOPICS 工商雜誌中 2.1 活性碳再生技術
層提起，「台灣在全球科技供應鏈中，佔有相當重要
的製造環節，並以科技島聞名全世界，各項科技工業 在水處理系統中「活性碳」是廣泛被運用於處裡水中
及半導體產業鏈和數位應用環境都非常成熟」，顯見 「TOC」(Total Organic Carbon)、H 2 O 2 及餘氯，亦
台灣的科技代工已在全球扮演日趨關鍵的角色。由 可脫色除臭及去除其他氧化劑的功效，在半導體製程
經濟部統計處統計的資料顯示，公司登記數量原由 中常被使用於「逆滲透膜」(Reverserse Osmosis, RO)
103 年 637,556 家 增 至 110 年 736,889 家， 增 幅 為 之前，作為 H 2 O 2 去除設備。因此，當活性碳吸附飽和
15%，帶動的經濟成長眾所皆知，然而其所產生的事 時，需透過活化再生恢復其去除率，依現行活性碳再生
業廢棄物也隨之增加，由環保署統計年報顯示由 103 方法主要可以分為熱處理、化學處裡或生物再生法等，
年至 110 年間，事業廢棄物申報數量增加逾 3 百多萬 其中熱處理法在工業上最為成熟也最常被應用於進行
[01]
噸，突破 2 千萬噸門檻的大關如圖1，如此龐大的數 活性碳的再生，文獻 中提到熱處理法主要適用於將
量將為環境帶來不可預期的隱憂。 有機物質去除，化學處理則針對金屬物質吸附物去除，
因廠內水質多數屬於有機質，因此使用熱處理進行再
[02]
台積電身為世界領先公司的佼佼者，自然應為社會及 生。另外文獻中可以看出 ，以吸附 VOC 的廢棄活性
環境盡一份心力。從台積電 111 年度永續報告書中提 碳做為原料，用五種不同的活化方式 ( 超音波、水蒸、
起總廢棄物產出量為 97 萬噸，其中水課廢棄物約為 酸性、鹼性、高溫熱 ) 進行再生，並使用銅溶液進行吸
23.7 萬噸占總量的 24.5%，若能將其廢棄物進行再利 附實驗做去除率測試，可以看出高溫熱活化的方式去
用並使用於廠內，將可大幅減少廢棄物的產量。依現 除率較高可達到 90%( 圖2)，甚至比全新的活性碳去
行經濟部事業廢棄物再利用管理辦法，已正面表列出 除率要來的更高。該文獻中也指出，針對不同 pH 進行
的五十二種可再利用物質中，氟化鈣污泥製成人造螢 測試，發現使用熱處理所得到的活性碳相對其他四種
石，硫酸及銅棒再製等，都是已完成再利用項目佔水 再生方式其去除率也是最高的 ( 圖3)。
課廢棄物約 97.3%，剩餘 2.7% 中約有 5,000 噸的廢
活性碳也是其中一項可再被利用的綠色資源，若將其
再利用為再生碳用以取代新碳使用，有助於減少廢棄
物產量及碳排放，實現綠色經濟的精神。

圖 1：廢棄物產量與公司數比較

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