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VOL.52 廠務季刊 化學品供酸系統備援機制管理

4.3 聯通開啟與線上 PI RUN 結果

在H 2 O 2 聯通管路經過 Flush，並經過 ICPMS&UC-40 應 6 小時，由線上收集相關數據，從 KLA 結果確認
分別量測金屬不純物及化學品中 PA。經廠內製程確 無特殊缺陷或特殊分布，且粒徑檢測皆在範圍內與過
認與 CDU 供應 baseline 品質相符後，與線上進行 往 CDU 供應品質一致。無論 KLA 和 PA 結果皆符合
H 2 O 2 聯通管路的供應 PI-RUN，分別得到表3 PA 和 供應品質。
表4 KLA 量測結果。PI RUN 期間為開啟聯通管路供

表 3：H 2 O 2 聯通管路 pi run offline PA 結果
Function SPC Chart/offline PA Results

WET comparable

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