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VOL.52 廠務季刊 化學品供酸系統備援機制管理

結論 作者介紹

❶ PFA 管路在化學品長期靜置情況下，metal 不純物 郭泓志 HUNG-CHIH KUO
及 PA 都有可能隨時間析出產生。
國立成功大學環工所畢業。
No pain, no gain.
❷藉由管路 flush 前後 metal 分析結果，flush 前總
金屬不純物為 16.2ppt 經 flush 後為 13ppt，減少
24% 金屬不純物。且 PA 量測 0.04μm PA 也大幅
度從平均 90EA 降至 3EA。

❸經由管路內 FLUSH 可以去除不純物及 PA，並經過
線上 PI RUN 檢驗確認供應品質無虞。

❹若有長期 IDLE 管路於啟用前須進行 FLUSH，可
能會遇到相同於聯通管路靜置導致供應品質疑慮
的情形。

參考文獻

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