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TSMC/ Facility Published

圖 5：UASB、EGSB、IC 三種厭氧反應器

研究方法

3.1 TMAH水質及替代檢測方法

為減少有機廢水排放對總排 COD 的影響，實現 下，因 TMAH 不能被重鉻酸鉀氧化，考慮 TMAH 內
TMAH 降解勢在必行。從檢測機制和原理分析角度出 組成成分，同時將現有線上設備進行聯合分析，最終
發，以 TOC 替代 COD 來量化 TMAH 濃度不失為一種 將 TMAH 數值確認為 TOC 和氨氮讀值。主要儀錶檢
行之有效的辦法。在綜合考慮成本和運維時效的情況 測化學式如下：

TOC 測量機理

COD 測量機理

TMAH 測量原理

因 TMAH 分子量為 91，C 的分子量為 12，N 的分子量為
表 5：TMAH 原水水質檢測
14，因此根據物質守恆定律，1g 的 TMAH 可貢獻 1.89g
CO 2 ，即在 TMAH 充分反應的情況下，儀錶中檢測到的 項目 TMAH廢水 上海廠廢水排放標準
TOC 可表徵水中 TMAH 的含量。同時因為 TOC 儀錶和氨
pH值(無量綱) 12~13 6~9
氮儀錶維保相對常見與簡易，所以 TMAH 檢測相對穩定。
TMAH/ppm 1300~1500 -
針對綫上機臺 TMAH 廢水進行取樣檢測分析，檢測數
TOC/ppm <2000 <500
據如表5 所示，分析其水質可發現，其中 TOC 和氨
NH 3 -N/ppm 40~50 45
氮數值較高，不符合上海厰對外污水排放標準，亟需
對該廢水進行處理，達標後排放。 NO 3 -N/ppm <10 -

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