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TSMC/ Facility Published
2.2 化學品純度對於生產的影響
廠務同仁在換 Drum 前發現原物料顏色異常，有幸此 是解析度不靈敏。令人振奮的是，CPA 不用無塵室
事件是肉眼可分辨，沒有造成線上停機斷線，後來釐 空間、機台價格便宜，不僅大幅降低普及化的成本
清是原物料中的成分四「乙基」氫氧化銨變質導致， 外，CPA 還有一個特點是只要透過改變測試參數「頻
變質前是透明無色，變質後則呈現黃色 ( 圖 2)，令人 率」，就可以將化學品中特有的離子 / 分子成分凸顯
更害怕的是，若原物料的變化是肉眼不可分辨的呢 ? 出來，進而可以檢測出化學品中不同成分的濃度變
真的注入 SDS 系統後，有哪些方法可以控管品質呢 ? 化來管控品質。
如表2，整理了現有的 offline 分析儀器與 CPA，發
展成線上分析儀的適用性比較表，可以發現電感耦
合電漿體質譜法 (ICP-MS) 雖然適用於分析此案例，
但若要發展成線上分析儀將會面臨難以普及的問題，
因其系統需要額外搭建無塵室空間，機台價格昂貴。
此外，如自動滴定氧化還原系統 (ATRS) 僅能針對研 圖 2：Slurry 5910 不同批號樣品的顏色差異圖
磨液中的雙氧水成分濃度進行分析。而導電度計則
表 2：研磨液成分濃度檢測儀器適用性比較表
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