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VOL.52 廠務季刊 空氣污染(NMHC)減量之空污設備(洗滌塔)用水水質改善

3.3 水質改善流程規劃

以 LWSC 水源變更測試結果顯示，若將 LWSC 供應水 (BW30HRLE-440) 為薄膜處理設備，達有機物去除率
源進行改善，可以有效降低酸性排氣煙囪 NMHC 的濃 99% 且建置成本較低為最大效益的 RO 膜設備處理單
度，達到空污減量目的。根據文獻探討表3 的比較分 元。除此之外系統規劃的處理水量，是以廠區水平衡圖
析指出，有機回收水處理主要以生物處理、高級氧化 中有機回收水排放量 220CMD，若以改善 LWSC 供應
處理 (AOPs)、薄膜處理法與活性碳吸附等為主要處理 水源為目標 ( 減少水中的有機質 )，活化使用 tsmc(F3)
方法，F12P3 受限於廠區空間不足的問題、建置成本、 閒置設備，規劃建置 240CMD AOR 回收處理系統，處
運轉成本與系統維護保養操作等因素；在有機回收水 理現有 P3 AOR 廢水，達到空污減量目標。
處理系統的規劃上，無法選擇建置生物處理法 ( 需求
其系統處理流程規劃如 圖 10 所示，由收集槽
面積大 ) 與排除 AOPs 處理法 ( 建置成本與運轉成本
(Collection Tank)、 活 性 炭 吸 附 系 統 (ACF)、 緩
高 ) 進行規劃。另一方面與機械課合作進行水源變更
衝 收 集 槽 (Buffer Tank)、 薄 膜 設 備 處 理 系 統 (RO
測試，將實際檢測 NMHC 濃度的數值經過計算，改善
membrane ) 等組成。ACF 利用 Buffer Tank( 現有 )、
水源可去除 60% 的 NMHC 的排放量，如表7 所示。
原水泵、活性碳塔、所組成；其活性碳塔為利用活性
依據文獻探討表3 比較分析與水源變更測試 NMHC
碳之物理特性來將原水中殘留雙氧水去除 , 以減少殘
總量去除率的結果 ( 如表7)，決定以活性碳吸附塔 +
留雙氧水對後續之離子交換樹脂或 RO 膜損壞。RO
薄膜設備進行系統規劃。然而其薄膜設備型號繁多，
系統由 RO 高低壓泵浦，及 RO 機組等組成，用以去
針對不同薄膜設備 (RO 膜 ) 型號進行分析，如表8，
除水中有機物及些微總溶解固體。
依據分析結果，可選擇目前廠區已使用 RO 膜型號
表 7：LWSC 水源變更測試後 NMHC 減量去除率

Scrubber HCl Wet scrubber TMAH Wet SCR H 2 SO 4 Wet SCR NH 4 -N Wet WSC
風量CMH 1480 1965 948 1208
改善前出口NMHC
8.9 10.95 9.7 9.6
濃度ppm
改善後出口NMHC
0.71 0.41 0.62 0.66
濃度ppm
Avg
改善前NMHC
0.076 0.123 0.053 0.066
排放量(Ton/Y)
NMHC減量
0.032 0.048 0.022 0.028
(Ton/Y)
實際測試與 實際測試與 實際測試與 實際測試與
備註
煙囪-1對應 煙囪-1對應 煙囪-1對應 煙囪-1對應
去除率 58% 61% 58% 58% 60%

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