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VOL.52 廠務季刊 空氣污染(NMHC)減量之空污設備(洗滌塔)用水水質改善
結論 參考文獻
F12P3 為 300mm 成廠區，歷經水資源回收率提升、 01. Journal of China Institute of Technology
水污染改善、減廢與需符合科管局排放標準下，陸陸 Vol.30-2004.6高科技電子業揮發性有機物污染管
續續建置不同的處理系統本質下，F12P3 廠區並無多 制理論與實務。
餘的空間可擴建大型處理系統；透過文獻探討、在廠
02. 百科知識網址:https://www.easyatm.com.tw/
區有限的空間及節省建置成本的考量下，依據表 14 比
較結果，選擇以系統建置成本可節省 NT$ 4.6M 及最 03. 中文百科網址:https://www.newton.com.tw/
省空間的物化法處理系統 (ACF 塔單元串聯薄膜設備
04. 元培醫事科技大學環衛系張宗良博士揮發性有機物
單元 ) 進行規劃，建置一套有效率的 AOR 有機廢水的
控制技術研究報告。
回收處理系統；加以提升 LSS 供應水源的品質，將水
05. 台灣產業服務基金會工程師郭志軍宋明裕司洪濤 工
中 TOC 濃度由 10.0ppm 降低至 3.1ppm。洗滌塔供
廠揮發性有機氣體(VOCs)控制技術與改善案例介紹。
應水質經改善 LWSC NMHC 出口濃度改善 93%(avg.
9.24 降至 0.54ppm)，有效減少煙囪出口 NMHC 排放 06. 工業廢水處理技術 (四)生物處理法。
總量 0.50Ton/Year，提升廠區煙囪排放品質，達到空
07. 公隆化學股份有限公司網站 : https://tw.kelly-
污設備供水水質精鍊需求，減少空氣污染。
eco.com/index.php
未來台積各廠區可依循 F12P3 AOR 回收處理系統 08. 萬年清環境工程股份有限公司 Fenton技術及應用
(ACF 塔單元 + RO 薄膜設備單元 ) 架構為基礎，善用 實務報告。
表 13 ACF 塔單元與 RO 薄膜設備單元等組合處理方
09. 中國污水處理工程網 高級氧化技術處理氨氮廢水
式，建置符合該廠區的有機回收廢水處理系統。
10. 國立成功大學水利及海洋工程學系碩士論文在職專
班/2015年/面板廠剛有機回收水系統最佳化運轉策
略之研究。
11. 美國陶氏化學反滲透膜元件介紹說明。
12. 屏東科技大學環境工程與科學系碩士論文/2019年
/活性碳吸附動物排放廢水溶解性有機質 (DOM)螢
光特徵探討。
表 14：不同處理系統占地面積 / 費用 / 操作保養便利性等比較
處理方法 建置占地面積需求 建置與操作成本費用 操作性與保養便利性
生物處理法 需大量占地面積 便宜 不好保養不易操作
物化法與高級氧化法
物化法 (ACF+RO) 普通 好保養與操作
所需面積相差不多
物化法與高級氧化法
高級氧化法 最貴 不易保養，危險性高
所需面積相差不多
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