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TSMC/ Facility Published

4.3 AOR處理系統對各廠區的適用性建議分析

依水質分析與煙囪檢測結果，AOR 系統上線運轉， 如上述測試結果 ( 表6) 與實際運轉分析結果 ( 表 11 與
改善整體 LSS 供應水質 ( 降低有機質濃度 ) 去除率 表 12)，本廠區規畫建置的 AOR 處理系統，確實可以有
達 70%，其煙囪排放 NMHC 濃度可減量 50%，證明 效降低有機物質濃度，改善廠區機械課 LSC 與 LWSC 用
F12P3 排放的 AOR 回收廢水，透過 AOR 處理系統 水品質；且目前台積各廠區的 AOR 有機廢水的特性差異
進行濃縮有效的降低水中的有機質，避免 LWSC 與 不大，其 AOR 回收廢水，主要有機污染物為 IPA、丙酮
LSC 洗滌塔用水，因水滌塔處理方法 ( 雙膜模型 )， 與雙氧水組成，可依循 F12P3 AOR 處理系統 (ACF 處理
在處理過程將水中的揮發性有機污染物質傳至氣體 單元 + RO 薄膜設備處理單元 ) 架構為基礎，依台積各廠
側，造成出口 NMHC 濃度上升的問題，如表 12 所示。 區有機回收水濃度、雙氧水濃度、水量與去除率等需求，
進行系統規劃改善，因地制宜適用性推廣至 tsmc 其他
廠區，如表 13。

表 12：水中有機質與煙囪 NMHC 改善百分比說明
改善前濃度 改善後濃度 改善百分比
ppm ppm %
LSS TOC(ppm) 10.0 3.1 69%
煙囪 -1(NMHC) 1.92 0.99 48%
煙囪 -2(NMHC) 1.20 0.52 57%
煙囪 Avg. 53%

表 13：ACF 處理單元與 RO 薄膜設備處理單元組合處理方式說明
方法 方式 ACF ＋ RO 備註

➀ 水中去除率需求低
1 套ＲＯ設備串聯
➁ 低處理水量

➀ 水中去除率需求高
2 套ＲＯ設備串聯
➁ 低處理水量
物化法
( 活性炭吸附 )
+
( 逆滲透薄膜 )
➀ 水中去除率需求低
2 套ＲＯ設備並聯
➁ 高處理水量

➀ 水中去除率需求高
4 套ＲＯ設備並聯
➁ 高處理水量

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