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圖一、具熱能回收與冷能回收的循環迴路 (RAR loop) 及其空氣曲線

3RD COIL CHR
CHS
1ST COIL

REHEAT COIL COOLUNG COIL FILTER O.A.
S.A.
SUPPLY
FAN
C C’ D A” A

SMOKING ROOM GLYCOL
T
3-WAY PUMP
H VALVE GLYCOL
B
E.A.

EXHAUST
FAN
2ND COIL

夏季冷卻盤管之冷能△h
Humidity Ratio Ibw / Iba (kgw / kga)
由Coil3回收至Coil1進行預冷

REHEAT SYSTEM h
A D MECHANICAL COOLING A” A’ A (OA Condition)
D C REHEAT 0.014
h 50% RH
HEAT RECOVERY SYSTEM B
C” (Room Condition)
A A” PRECOOL BY THE 1ST COIL D C 0.0084
A” D MECHANICAL COOLING (Room SA Condition)
D C REHEAT
HEAT RECOVERY / DEHUMIDIFICATION SYSTEM
A A” PRECOOL BY THE 1ST COIL 54 F 68.8 F 75 F 83.5 F 92 F Temperature F(C)db
A” D MECHANICAL COOLING (12.2 C) (20.5 C) (23.9 C) (28.6 C) (33.3 C)
D C” REHEAT BY THE 3RD COIL
C’ C REHEAT 77.2 F
(25 C)

鮮空氣，而台灣位處亞熱帶，將巨 – 減少外氣供風量；
量新鮮空氣處理至合乎晶圓製造條
前言 – MAU 熱能回收。
件，需動用大量冰水 / 溫水進行除
廠務同仁對手法 1 與 2 已經運用
濕 / 調溫，這是無塵室空調佔耗能
的十分嫺熟，不再贅述，方案 3 的
半導體製造過程使用了很多的化 比重如此高的原因，針對此項目節
可行作法則有多種，例如使用全熱
學物質與特殊氣體，機台於製造 能時，一般常用方案是 :
交 換 器 及 熱 管 (Heat pipe) 等， 前
前 / 中 / 後及保養期間，均須排除 – 調整 MAU 各段盤管設定值，如 者係熱能回收法中屬效率較佳者，
廢氣，相對應地，必須補充等量新 含水率及出風溫度； 惟基於先進製程對 AMC (Airborne

陳芳明 F.M. Chen

專長 : 空調機械
休閒嗜好 : 登山車

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL JULY 2012 19