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Special
Report
特別企劃

表一、四盤管 RAR 投入程序

條件 TCV01 CV1 RAR 泵 TCV04 TCV05 時間

T1 PID
RAR 投入前 Off Off T4 PID auto 0%
auto

外氣溫度 >20℃
RAR 暖機程序 預冷盤管開度 > 10% 0% On On T4 PID auto 0% 360S
兩者持續一段時間

依原自動開度 切換至 PID 自動
RAR 溫控切換 0% On On 切換至手動 控制閥初始開度 0% 360S
再等速率關至 0% 參考溫度訊號為 T4

RAR 完成投入 0% On On 0% T4 PID auto

之 PID 可以不連控。 使 MAU 出口溫度大幅波動，易造 啟動冷能回收時，再熱盤管直接
成無塵室運轉人員的困擾及使用抗 停止灌入溫水 )
檢視六盤管型的 6 號盤管 ( 夏天降 拒。改善溫控的穩定性是半導體廠 – RAR 投入前 / 後，MAU 出風溫
溫 / 冬天無用途 ) 與預熱盤管 ( 冬 導入四盤管型 RAR MAU 成敗的關 度設定值 (TT04) 不同，造成有
天升溫 / 夏天無用途 ) 的運作時節 鍵。 1℃穩態誤差。
大致上並不衝突，故可用預熱盤管 – 此 MAU 並無熱交換器來降低
替代 6 號盤管來執行回收功能， 空氣洗滌器補水的溫度，在 RAR
則精簡成五盤管型 MAU 圖三，由 切換過程中，若空氣洗滌器進行
於 5 號盤管與預熱盤管容量難以 補排水，則會干擾 MAU 露點控
挑選一致，可利用 TCV05 節流旁 結果與分析 制。
通管來分配此二盤管水流量，用
以控制 5 號盤管離風面溫度，此 對某四盤管型 MAU ( 圖四 配置， 對於上述前兩項，建議將原控制邏
精密控制功能尚無法完全以變頻 循環泵為定速 ) 的 RAR 切換過程 輯進行修正，如 表一與 表二，則此
泵 取 代。 基 本 上 TCV05/RAR 泵 型 RAR 切換過程的溫控不穩定現
的數據 ( 圖五 , 2012/03/30，於茂
的控制與 TCV04 之 PID 也可以不 象，應可減輕。
德科技 ) 進行分析，此 0.5 小時操
連控。(TCV05 溫度設定不能高於
作資料顯示 :
TCV04)
– MAU 出口溫度 1.7℃的漂移。
– MAU 出口露點 1℃的漂移。
檢視五盤管型的 5 號盤管 ( 夏天升
溫 / 冬天無用途 ) 與再熱盤管 ( 夏 – 無塵室造成 0.8%RH 的漂移。 結論論
天升溫 / 冬天升溫 ) 的運作時節其
實有部分重疊，故可考慮利用管 解析閥門動作看出一些待改善的空 低露點除濕型的 MAU 可考慮導入
路 / 閥門切換方式使再熱盤管替 間 : RAR 進行冷能回收。依蘇鈺洲 [5]
代 5 號盤管來執行冷能回收，則可 – 再 熱 盤 管 控 制 閥 TCV04 於 的估算，投資回收約 1.2~1.8 年，
精簡成四盤管型 MAU，運作此四 RAR 啟 動 時瞬間由 24% 關 閉 但若已經將 MAU 出風溫度壓至極
盤管型最大挑戰在於切換 RAR 前 至 0%， 而 TCV05 尚 在 慢 速 調 低 ( 例如高於除濕露點 2 度 ) ，再
後，再熱盤管內的平衡水溫因與預 節，造成 MAU 出風溫度有 1.7℃ 導入 RAR 的冷能回收效益就很低，
熱盤管不一致及水量突然變化， 的暫態峰值。( 該公司原始要求 : 會拉長投資回收期。

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