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圖五、一個 RAR 切換案例
文獻回顧

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ROOM_HT Somchai Paarporn, P.E. [2] 設計一
套循環盤管迴路回收居室排出之熱
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能與除濕後之冷能，此構型在寒冷
地區，於冬季可回收大量熱能，於
44 夏季則可回收少量的冷能，若外氣
0.8%RH
溫度介於空調出風溫度與排氣溫度
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之間，則無太大操作價值。曹志明
及胡石政 [3] 提出於半導體廠低露
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點的外氣空調箱額外安裝兩盤管的
RAR ( 以下以六盤管型 MAU 稱呼
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此構型， 圖二 )，並稱可進一步以
40 無電功消耗的冷媒熱管取代。駱文
11:45:36 11:52:48 12:00:00 12:07:12 12:14:24 12:21:36 12:28:48 傑 [4] 則提出某 12”DRAM 廠的實
際運轉數據 ( 四盤管型 MAU)，顯
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MAU_TT04 示 RAR 在半導體廠已經有其節能潛
15 益。
1.7°C MAU_Dewpoint
14
13
12
11
計畫方法
10
9
8
於以除濕為主要功能的 MAU 中裝
7 備 RAR 其共通原則為 : 回收除濕
1°C
6 盤管後方低溫空氣的冷能，去冷卻
MAU 入口高溫外氣，實現的方案

120 中若依盤管總數來分類，則可區分
MAU_TCV4_PID
為六盤管型 MAU 圖二、五盤管型
MAU_TCV5_PID
100 MAU 圖三、四盤管型 MAU 圖四。
MAU_TCV2_PID
80
六盤管型 MAU 係於預熱盤管前方
60 及除濕盤管後方額外增加兩盤管，
串連 RAR 泵後以循環管路銜接，
40
此兩新增盤管原則上熱負荷相當
20 且乾球溫差相當，但因進 / 出風
條 件 不 同， 故 LMTD (Log Mean
0 Temperature Difference 對 數 平 均
11:45 11:52 12:00 12:07 12:14 12:21 12:28
溫差 ) 略有不同。由正常運作模式
切換成 RAR 模式那短暫暫態，若循
環泵由變頻器緩速啟動運轉則可減
輕對 MAU 出口溫度波動幅度，若
再增加 TCV05 並使之處於旁通狀
molecular contamination) 的品質要 行顯熱交換，若以 RAR 來實現， 態，則可更進一步降低 MAU 出口
求，至今仍無全廠成功導入案例， 則無 AMC 污染之虞，所需考量者 : 溫度波動 ( 避免預熱盤管的高溫水
而後者屬顯熱回收，回收效率次於 季節切換時點與切換過程對無塵室 灌入再熱盤管 )。對溫濕度變動敏
前者，其概念是將 MAU 除濕後低 溫溼度變動的影響。 感的無塵室，可選擇此構型。基本
溫之空氣與 MAU 入口高溫空氣進 上 TCV05/RAR 泵的控制與 TCV04

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL JULY 2012 21