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Tech
Notes
技術專文
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文│陳駿華 周政隆 張寶額 │ 新廠設計部 工業技術研究院綠能與環境研究所│
Influence of Intake
Air Quality
on Different
Stack Design
煙囪對外氣空調箱進氣品質
的影響與設計
半導體廠房的建築物大多以平屋頂、大面積的設計為主,且製程廢氣的排放管道和進氣口也常因土地
空間的限制而設置於廠房的屋頂。因此,新鮮空氣經由外氣進氣口導入到製程區和辦公區時,屋頂煙
囪所排放之空氣污染物可能因煙囪高度不足或進氣口的位置不佳而導致污染物蓄積在進氣口附近,而
隨著新鮮空氣一起回吸到製程區和辦公區。經由風洞的模擬分析顯示,適當的煙囪高度設計和調整進
氣口的位置,可以有效地降低廠區內煙囪排放之空氣污染物對進氣口之空氣品質的影響,配合強化煙
囪下洗和建築物風場模擬功能的大氣擴散模式 ISCST3-PRIME、煙囪污染物排放資料和工廠附近的氣象
資料可以模擬評估廠區周界的污染物擴散濃度分佈情形,找出外氣空調箱(Make-up Air Unit, MAU)
的適當位置和高度以降低煙囪排放之污染物對進氣口之空氣品質的影響程度。
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