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表二、2010 年中央氣象局新竹測站之 ISCST3-PRIME 氣象資料格式

混合層高度(m)
Date/Time WD(degree) WS (m/s) Temperature Stability
(K) 鄉村 都市
2010/1/1 00:00 236.3 2.9 286.0 5 195.6 195.6
2010/1/1 01:00 216.3 3.3 286.3 4 245.2 245.2
2010/1/1 02:00 218.8 1.6 286.4 5 100.0 39.3
2010/1/1 03:00 198.8 1.3 286.5 5 100.0 30.0
2010/1/1 04:00 201.3 2.3 286.6 5 100.0 63.4
2010/1/1 05:00 226.3 2.1 286.7 5 100.0 59.1

表三、ISCST3-PRIME 模式模擬所需之污染源（煙囪）資料

Source ID ER (g/s) Stack Height (m) Exit Temp. (K) Exit Velocity (m/s) Stack Diameter(m)
S1001 0.000919 45 294.4 14.74 1.3
S1002 0.0020523 45 293 16.97 1.3
S1003 0.009944 45 292.3 14.69 1.3
S1004 0.0020523 45 292.3 13.1 1.3
S1005 0.004361 45 291.2 14.84 1.3

包 括 F12P1/P2、F12P4/P5 和
圖七、F12 基地在 MAU 高度的 1-hr HF 濃度分佈 ( 所有 tsmc F12 的 SEX)
F12P6 之 HF 排 放 在 F12P6 屋 頂
MAU 高度的最大小時濃度分佈情
形 (Worst-case)。 模 擬 結 果 顯 示
F12P6 Fab 屋頂的 HF 小時最大濃
度 在 2.4~4.5ppb 之 間； 其 中 以 靠
近 CUP 的濃度較高，最大小時 HF
濃度可達 4.0~4.5ppb；MAU 附近
的 HF 濃度則在 2.4~3.7ppb 之間，
而以東南側靠近 F12P4/P5 區域的
HF 濃度較低。

進一步分析 F12 各廠之煙囪所排
放的 HF 對 F12P6 MAU 的貢獻程
度；假設 F12P6 的 MAU 進氣口位
於 penthouse 南側共 15 個，相對
位置如 圖八 ，分析各廠煙囪所排放
之 HF 在 F12P6 屋 頂 15 個 MAU
的擴散濃度及主要的貢獻來源。
度的 THC 濃度分佈情形，並評估 表四為 F12P6 廠址附近各工廠所
F12P6 MAU 進氣口移到廠區西邊 結果與分析 排放之 HF 對 F12P6 MAU 進氣口
不同高度時，其進氣之 NH 3 、HF 的影響濃度範圍，和 F12P6 煙囪
和 THC 的變化情形。 排放在 MAU 的稀釋率分析結果。
本文主要以 HF 的排放擴散情形 依據現有的煙囪 HF 排放資料模擬
進行模擬，並輔以 NH 3 和 THC 結果顯示，F12P6 MAU 進氣口的
的模擬結果進行分析。 圖七 顯示 HF 濃 度 範 圍 在 2.8ppb~3.8ppb 之

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL OCTOBER 2012 49