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圖六、氣膠分子撞擊清除分子動力模擬剪影 [7]

圖七、Gaussian Diffusion Sphere model [8]

Initial position
at time t r,i =0 Radial
Distance

R i
Probability
0

Gaussian Diffusion Sphere

術，則是採用氬 / 氦混合氣體，依 高速的氣膠分子團，對於小直徑的 徑污染粒子的去除目的。但也需搭
實驗的結果顯示，對於 10nm 直徑 奈米污染粒子有較高的清除效率。 配氣膠分子團的撞擊速度，選取氣
的污染粒子具有達 95% 以上的清 2009 時，Lee 及 Hwang， 利 用 氧 膠分子團的適當大小，令其撞擊動
除成效。該技術乃是由低溫氣膠集 化鋁的奈米粒子溶液，使其於晶圓 能，高於奈米污染粒子的吸附能
束發展而來，最初的應用，利用低 上乾燥，產生奈米污染粒子的沉 階，始有可能將其去除。研究的成
溫二氧化碳的分子團，來清除晶圓 積，再利用氬 / 氦混合氣體，來進 果顯示，氣膠分子的直徑宜比污染
上 100nm~30000nm 直 徑 的 污 染 行清除效率的量測。其中利用噴嘴 粒子的尺度小 1/100，避免損及晶
粒子。在 2005，Yi 等人的研究成 壓力的大小，控制低溫 (-135 攝氏 ) 圓表面 [7] 。
果中發現，將氣膠分子團的尺寸與 氣膠的成核大小，並使其撞擊於晶
速度，作為兩個各自獨立的控制因 圓的光阻劑上，並以 SEM 量測光
素，當氣膠分子團的尺寸變大時， 阻劑上的凹陷尺寸，推算低溫氣膠
反而阻礙小直徑的奈米污染粒子在 分子團的直徑。在一連串的實驗參
晶圓遭受氣膠撞擊時，脫出晶圓表 數的調整下，發現氣膠分子團的大
面，亦即在相同的撞擊動能水準之 小，並非控制因素，真正影響奈米 討論與建議
下，小直徑的奈米污染粒子清除效 污染粒子清除效率的因素，在於氣
率是低於較大直徑粒子污染的狀 體分子團的速度。由 1:1 氬 / 氦混 從上述文獻中，可發現，由於結構
態。但若控制氣膠分子團的速度， 合的比例，一路調整為 3:7，2:8 尺度極端微小，奈米粒子不易被偵
令其於相同的撞擊動能條件，則較 直至 1:9 時，始能達成對 10nm 直 測，相較於 AMC，更難防治，因

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL OCTOBER 2012 69