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Tech
Notes
技術專文
文│洪舜立│專案管理部│
Performance Test for
40nm Liquide
Particle Counter
40奈米液相微粒分析儀實測
在晶圓的生產過程中微粒 (Particle) 會造成品質瑕疵，甚至於報廢，因此如何量測與去除一直是
個重要議題，本文針對量測液相流體微粒的新式 40 奈米微粒分析儀 (Particle Counter) 與現行主
力 65 奈米分析儀做量測效果比對，並挑選最具挑戰性的 ST-250 化學品做實際量測，最後提出
運用在化學品供應系統的過濾器 (Filter) 節能方式之建議，期望能透過運用新式微粒分析儀來監
視廠務端供應化學品微粒品質並改善以往過濾器定期更換的管理機制，以期達到有效管理及節
能減碳目的。
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